一种大面积厚GEM的制作工艺
摘要:
本发明公开了一种大面积厚GEM的制作工艺,包括阻焊层覆盖、激光开窗、绝缘环加工、通孔成型和阻焊层消褪处理等步骤,采用激光钻孔方式,激光钻孔开窗和激光钻孔通孔成型的双重定位技术进行厚GEM的加工。本发明大面积厚GEM的制作工艺具有成本低、加工精度高和生产效率高等特点。
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