具有应变硅的集成电路及制造该电路的方法
Abstract:
本发明提供具有应变硅的集成电路及制造该电路的方法。一种集成电路,包括具有表面层、中间层和基底层的堆栈,其中,该表面层覆盖在该中间层上,以及该中间层覆盖在该基底层上。该表面层和该基底层包括应变硅,其中,硅原子被拉伸超出正常结晶硅原子间距离。该中间层包括结晶硅锗。
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