发明授权
CN104465775B 基于陷阱产生机制的双漏区半导体器件其制造方法及应用
失效 - 权利终止
- 专利标题: 基于陷阱产生机制的双漏区半导体器件其制造方法及应用
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申请号: CN201410766891.1申请日: 2014-12-12
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公开(公告)号: CN104465775B公开(公告)日: 2018-01-05
- 发明人: 陈海峰
- 申请人: 西安邮电大学
- 申请人地址: 陕西省西安市雁塔区长安南路563号
- 专利权人: 西安邮电大学
- 当前专利权人: 西安邮电大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市雁塔区长安南路563号
- 代理机构: 北京科亿知识产权代理事务所
- 代理商 汤东凤
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L21/336
摘要:
本发明公开了一种基于陷阱产生机制的双漏区半导体器件其制造方法及应用,衬底区上中间设有电学悬浮掺杂区,同时衬底区上两侧均设有漏端掺杂区,电学悬浮掺杂区和漏端掺杂区中间为导电沟道区域,栅绝缘介质层覆盖在电学悬浮掺杂区和陷阱层之上,栅绝缘介质层上两侧分别设有栅端金属电极层,两个栅端金属电极层之间设有绝缘隔离层,漏端掺杂区上设有漏端金属电极层,漏端掺杂区分别使用隔离氧化区与旁边区域隔离,在漏端掺杂区的隔离氧化区另一侧设有衬底电极处,其上为衬底金属电极层。本发明中的器件结构,和传统的CMOS工艺有很好的兼容性。
公开/授权文献
- CN104465775A 基于陷阱产生机制的双漏区半导体器件其制造方法及应用 公开/授权日:2015-03-25
IPC分类: