Invention Publication
CN104471694A 半导体探针、用于测试量子电池的测试装置和测试方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 半导体探针、用于测试量子电池的测试装置和测试方法
- Patent Title (English): Semiconductor probe for testing quantum cell, test device, and test method
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Application No.: CN201280073641.9Application Date: 2012-05-31
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Publication No.: CN104471694APublication Date: 2015-03-25
- Inventor: 出羽晴匡 , 桧皮清康 , 中泽明
- Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 , 刮拉技术有限公司
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司,刮拉技术有限公司
- Current Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司,刮拉技术有限公司
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京银龙知识产权代理有限公司
- Agent 金鲜英; 钟海胜
- International Application: PCT/JP2012/064232 2012.05.31
- International Announcement: WO2013/179471 JA 2013.12.05
- Date entered country: 2014-12-01
- Main IPC: H01L21/66
- IPC: H01L21/66 ; G01R31/36 ; H01M10/48

Abstract:
本发明提供一种采用半导体探针测试量子电池的装置和方法,其中,能够在量子电池的制作工艺中途评价充电层的电特性而不引起损伤。在由电极(54)和金属氧化物半导体(56)层叠在支持体(52)上所构成的半导体探针(50)上,使用与量子电池相同的材料制作探针充电层(58),并照射紫外线。使用与量子电池相同的材料在半导体探针(50)上形成探针充电层(58),使得可以在不损伤量子电池的充电层的情况下进行评价。提供使用设置有探针充电层(58)的半导体探针(50),通过电压计(64)和恒流电源(62)或放电电阻(66)来测定量子电池制作中途的充电层(18)的充放电特性的测试装置和测试方法。
Public/Granted literature
- CN104471694B 半导体探针、用于测试量子电池的测试装置和测试方法 Public/Granted day:2017-02-22
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