半导体探针、用于测试量子电池的测试装置和测试方法
Abstract:
本发明提供一种采用半导体探针测试量子电池的装置和方法,其中,能够在量子电池的制作工艺中途评价充电层的电特性而不引起损伤。在由电极(54)和金属氧化物半导体(56)层叠在支持体(52)上所构成的半导体探针(50)上,使用与量子电池相同的材料制作探针充电层(58),并照射紫外线。使用与量子电池相同的材料在半导体探针(50)上形成探针充电层(58),使得可以在不损伤量子电池的充电层的情况下进行评价。提供使用设置有探针充电层(58)的半导体探针(50),通过电压计(64)和恒流电源(62)或放电电阻(66)来测定量子电池制作中途的充电层(18)的充放电特性的测试装置和测试方法。
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