利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明公开
CN104487412A 自由基固化性化合物、自由基固化性化合物的制造方法、自由基固化性组合物、其固化物、以及抗蚀材料用组合物 有权

  • 专利标题： 自由基固化性化合物、自由基固化性化合物的制造方法、自由基固化性组合物、其固化物、以及抗蚀材料用组合物
  • 专利标题（英）： Radically curable compound, method for producing radically curable compound, radically curable composition, cured product thereof, and composition for resist material
  • 申请号： CN201380039314.6
    申请日： 2013-06-25
  • 公开(公告)号： CN104487412A
    公开(公告)日： 2015-04-01
  • 发明人: 今田知之 , 鹿毛孝和 , 申东美
  • 申请人： DIC株式会社
  • 申请人地址： 日本东京都
  • 专利权人： DIC株式会社
  • 当前专利权人： DIC株式会社
  • 当前专利权人地址： 日本东京都
  • 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所
  • 代理商 刘新宇; 李茂家
  • 优先权： 2012-164813 2012.07.25 JP
  • 国际申请： PCT/JP2013/067344 2013.06.25
  • 国际公布： WO2014/017236 JA 2014.01.30
  • 进入国家日期： 2015-01-23
  • 主分类号： C07C69/54
  • IPC分类号： C07C69/54 ;  C07C67/14 ;  C08F20/30 ;  C08G8/30
自由基固化性化合物、自由基固化性化合物的制造方法、自由基固化性组合物、其固化物、以及抗蚀材料用组合物
摘要：
本发明提供耐热性优异的正型光致抗蚀剂组合物。一种自由基固化性化合物，其特征在于，由下述通式(1)表示。式(1)中，R1、R2以及R3各自独立地为碳原子数1～8的烷基，m和n各自独立地为1～4的整数，p为0～4的整数。此外，X、Y以及Z各自独立地为丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基或者羟基中的任一种，X、Y、Z之中的至少一者为丙烯酰氧基或者甲基丙烯酰氧基，t为1或者2。
摘要（英）：

Provided is a positive photoresist composition having excellent heat resistance. Also provided is a radically curable compound, characterized in being represented by general formula (1) (where R1, R2, and R3 are each independently a C1-8 alkyl group; m and n are each independently integers of 1 to 4; p is an integer of 0 to 4; X, Y, and Z are each independently either an acryloyloxy, methacryloyloxy, or hydroxyl group where at least one of X, Y, and Z is an acryloyloxy or methacryloyloxy group; and t is 1 or 2.).

公开/授权文献
0/0