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公开(公告)号：CN116209690B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202180064580.9
申请日：2021-09-09
申请人： DIC株式会社
IPC分类号： C08G8/20 , G03F7/11 , C07C49/755 , C07C49/747
摘要： 提供：具有对有机溶剂的充分的溶解性、具有低粘度/低极性而对微细空间的浸润性优异、能够用于超微细化的布线图案形成的含酚性羟基树脂。具体而言，一种含酚性羟基树脂，其特征在于，含有：选自由下述结构式(1)所示的化合物(1)和下述结构式(1’)所示的化合物(1’)组成的组中的1种以上的含酚性羟基化合物(1)。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN112105600B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN201980031171.1
申请日：2019-05-15
申请人： DIC株式会社
IPC分类号： C07C255/13 , C07C255/15 , C07C255/23 , C08F16/12 , C08F20/30 , C08F20/42
摘要： 下述结构式(1)所表示的杯芳烃化合物。[式中，R1和R2分别独立地为具有官能团(I)的结构部位(A)、具有具备碳间不饱和键的官能团(II)(其中不包括马来酸酯基)的结构部位(B)、具有前述官能团(I)和前述官能团(II)两者的结构部位(C)、除前述结构部位(A)、(B)和(C)以外的碳原子数1～20的一价的有机基团(D)、或氢原子(E)。其中，多个R2中的至少一个为前述结构部位(A)、前述结构部位(B)、前述结构部位(C)或前述有机基团(D)。前述官能团(I)为氰基、乙酰丙酮酸酯基、草酸酯基或丙二酸酯基时，多个R1和R2中的至少一个为前述结构部位(C)、或者多个R1和R2中的至少一个为前述结构部位(A)且至少一个为前述结构部位(B)。前述官能团(I)为马来酸酯基时，多个R1和R2中的至少一个为前述结构部位(A)或前述结构部位(C)。]
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公开(公告)号：CN116438185A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180072868.0
申请日：2021-10-07
申请人： DIC株式会社
IPC分类号： C07F7/00
摘要： 提供既呈现高灵敏度又能够形成微细图案的能够在辐射线光刻中加以利用的抗蚀材料。具体为一种金属络合物，其特征在于，以下述通式(1)所示的阴离子化合物(A)作为配体(R1和R2表示碳原子数1～9的脂肪族烃基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子。m、n和p表示0～4的整数。R3表示氢原子、碳原子数1～9的脂肪族烃基、或者在烃基上具有1个以上选自烷氧基、卤素基团和羟基中的取代基的结构部位。R4表示羟基、碳原子数1～9的脂肪族烃基、烷氧基或卤素原子。)。
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公开(公告)号：CN107848926B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201680043080.6
申请日：2016-07-21
申请人： DIC株式会社
摘要： 提供显影性、耐热性及耐干蚀刻性优异的酚醛清漆型含酚性羟基树脂以及抗蚀膜。一种酚醛清漆型含酚性羟基树脂，其特征在于，其具有下述结构式(1)[式中，Ar表示亚芳基。R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任意者，m各自独立地为1～3的整数。]所示的结构部位(I)或下述结构式(2)[式中，Ar表示亚芳基。R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任意者，m各自独立地为1～3的整数。]所示的结构部位(II)作为重复单元。
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公开(公告)号：CN106795077B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201580055065.9
申请日：2015-09-15
申请人： DIC株式会社
发明人： 今田知之
摘要： 本发明提供溶剂溶解性优异的萘酚型杯芳烃化合物、该萘酚型杯芳烃化合物的制造方法、含有该萘酚型杯芳烃化合物且可获得耐热解性、碱显影性、光灵敏度、分辨率优异的涂膜的感光性组合物、由该感光性组合物形成的抗蚀材料及涂膜。具体而言，一种萘酚型杯芳烃化合物，其特征在于，其包含通式(1)所示的分子结构[式(1)中，R1表示氢原子、烷基、烷氧基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的芳烷基或卤素原子，多个存在的R1可以彼此相同也可以不同，R2表示可以具有取代基的烷基或可以具有取代基的芳基，n表示2～10的整数。]。
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公开(公告)号：CN109071744B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201780023399.7
申请日：2017-03-23
申请人： DIC株式会社
摘要： 提供耐热性、碱显影性、感光度、分辨率等各性能优异的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。涉及将具有三(羟基芳基)次甲基的化合物(A)和醛化合物(B)作为必须反应原料的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。
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公开(公告)号：CN108290991B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201680070848.9
申请日：2016-11-17
申请人： DIC株式会社
摘要： 以提供显影性、耐热性及基板追随性优异的含酚性羟基树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀膜为课题。使以三芳基甲烷型化合物(A)和醛化合物(B)作为必需成分反应而得到的酚醛清漆树脂中间体、与碳原子数9～24的烯烃化合物(C)进行反应而得到的含酚性羟基树脂、含有该含酚性羟基树脂的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀膜。
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公开(公告)号：CN110959138A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201880048675.X
申请日：2018-07-03
申请人： DIC株式会社
IPC分类号： G03F7/004 , C07C323/16 , G03F7/023
摘要： 本发明目的在于，提供涂膜的平滑性、均质性高、分辨率等图案化性能也优异的抗蚀剂材料，提供一种抗蚀剂材料，其含有：具有下述结构式(1)所示的分子结构的杯芳烃化合物(A)、和树脂成分(B)。(式中，R1为全氟烷基或具有全氟烷基的结构部位。R2为氢原子、极性基团、聚合性基团、具有极性基团或聚合性基团的结构部位。R3为氢原子、任选具有取代基的脂肪族烃基、任选具有取代基的芳基中的任意者。n为2～10的整数。*为与芳香环的键合点。)
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公开(公告)号：CN108290991A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680070848.9
申请日：2016-11-17
申请人： DIC株式会社
摘要： 以提供显影性、耐热性及基板追随性优异的含酚性羟基树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀膜为课题。使以三芳基甲烷型化合物(A)和醛化合物(B)作为必需成分反应而得到的酚醛清漆树脂中间体、与碳原子数9～24的烯烃化合物(C)进行反应而得到的含酚性羟基树脂、含有该含酚性羟基树脂的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀膜。
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公开(公告)号：CN107531858A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680025670.6
申请日：2016-04-21
申请人： DIC株式会社
摘要： 本发明提供显影性、耐热性和基板追随性优异的酚醛清漆型含酚性羟基树脂以及抗蚀膜。一种酚醛清漆型含酚性羟基树脂，其特征在于，其是以下述结构式(1)[式中，Ar为下述结构式(Ar‑1)或(Ar‑2)所示的结构部位]所示的含酚性羟基化合物(A)、下述结构式(2)[式中，R3为碳原子数4～20的脂肪族烃基，j为1～3的整数]所示的含酚性羟基化合物(B)以及醛化合物(C)为必要反应成分的缩聚物。
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