用于防污膜镀膜的加液系统
摘要:
本发明涉及真空镀膜领域,尤其涉及用于防污膜镀膜的加液系统,特别是适用于对液态材料进行精确计量并加注的装置,其特征在于:所述加液系统至少包括一套加药装置,所述加药装置由加药控制器、容积式计量阀和滴药阀构成,所述容积式计量阀的药液进口与所述防污膜料药液瓶连通,所述容积式计量阀的药液出口与所述滴药阀连通,所述滴药阀的滴药口通向所述坩埚,所述加药控制器分别连接控制所述容积式计量阀和所述滴药阀。本发明的优点是:可以进行自动化、无需开腔破真空加药。
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