发明公开
- 专利标题: 用于防污膜镀膜的加液系统
- 专利标题(英): Liquid filling system for anti-fouling film coating
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申请号: CN201410786745.5申请日: 2014-12-18
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公开(公告)号: CN104498890A公开(公告)日: 2015-04-08
- 发明人: 张洪 , 史俊俊 , 张海熬
- 申请人: 光驰科技(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号
- 专利权人: 光驰科技(上海)有限公司
- 当前专利权人: 光驰科技(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号
- 代理机构: 上海申蒙商标专利代理有限公司
- 代理商 徐小蓉
- 主分类号: C23C14/56
- IPC分类号: C23C14/56 ; C23C14/54
摘要:
本发明涉及真空镀膜领域,尤其涉及用于防污膜镀膜的加液系统,特别是适用于对液态材料进行精确计量并加注的装置,其特征在于:所述加液系统至少包括一套加药装置,所述加药装置由加药控制器、容积式计量阀和滴药阀构成,所述容积式计量阀的药液进口与所述防污膜料药液瓶连通,所述容积式计量阀的药液出口与所述滴药阀连通,所述滴药阀的滴药口通向所述坩埚,所述加药控制器分别连接控制所述容积式计量阀和所述滴药阀。本发明的优点是:可以进行自动化、无需开腔破真空加药。
公开/授权文献
- CN104498890B 用于防污膜镀膜的加液系统 公开/授权日:2017-02-22
IPC分类: