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公开(公告)号：CN111254408A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010146748.8
申请日：2020-03-05
申请人： 光驰科技(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及真空薄膜制备技术领域，尤其是一种镀膜基片的安装、拆卸的方法，其在基板上设置高低起伏的粘贴面，粘贴面用于与基片粘结固定以使基片安装固定到基板上，且粘结面在基片的片体范围内形成有粘结力相对较小的区域以及粘结力相对较大的区域；自粘结力相对较小的粘结区域至粘结力相对较大的粘结区域克服基片与粘结面之间的粘结力对基片进行逐步剥离揭取，实现基片与基板的拆卸分离。本发明的优点是：可提供基片安装固定所需的足够粘结力满足其安装要求，且所提供的粘结力可针对不同的基片可调，灵活程度高，通用性强，适应面广；实现基片安全、高效地揭取，保证基片在揭取操作时的安全性，避免基片发生破损，有效保障基片质量。
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公开(公告)号：CN105695938A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610215427.2
申请日：2016-04-08
申请人： 光驰科技(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及薄膜制备技术，具体涉及一种采用扫描式蒸发源的镀膜装置及其镀膜方法，其特征在于：在真空镀膜室内设置盛放基片的镀膜工件架，扫描式蒸发源设置在真空镀膜室上。扫描式蒸发源中的坩埚可以定点、定时、扫描方式运动并进行膜料蒸发；扫描式蒸发源还设置有与真空镀膜室相对独立的加药腔室，可使膜料的添加、预热和真空镀膜室的镀膜工序分隔开来。本发明的优点是：可实现在不借助膜厚补正板的情况下，工件架上所有基片的镀膜厚度满足均匀性要求，提升了膜料利用率和镀膜效率，降低了镀膜成本；能够实现加药腔室中的加药、排气和预热工序与真空镀膜室中的排气、镀膜工序同步进行，提升了生产效率和膜层质量。
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公开(公告)号：CN104878356A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510304340.8
申请日：2015-06-08
申请人： 光驰科技(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及真空镀膜领域，尤其是一种磁控溅射靶材磁铁放置角度的确定方法，其特征在于：所述确定方法至少包括以下步骤：基于knudsen定律，利用解析法计算在不同磁铁放置角度下，所述基板旋转时所形成的膜厚分布，从中选择最优膜厚分布所对应的磁铁放置角度作为磁铁放置角度的最优初始值。本发明的优点是：能精确确定磁铁放置的最佳角度，从而使镀膜厚度的均一性得到保证；计算量小，EXCEL就可以算；较直接，比较容易分析各个变量对于结果的影响。
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公开(公告)号：CN104498890A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410786745.5
申请日：2014-12-18
申请人： 光驰科技(上海)有限公司
CPC分类号： C23C14/246
摘要： 本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及用于防污膜镀膜的加液系统，特别是适用于对液态材料进行精确计量并加注的装置，其特征在于：所述加液系统至少包括一套加药装置,所述加药装置由加药控制器、容积式计量阀和滴药阀构成，所述容积式计量阀的药液进口与所述防污膜料药液瓶连通，所述容积式计量阀的药液出口与所述滴药阀连通，所述滴药阀的滴药口通向所述坩埚，所述加药控制器分别连接控制所述容积式计量阀和所述滴药阀。本发明的优点是：可以进行自动化、无需开腔破真空加药。
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公开(公告)号：CN104498889A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410786581.6
申请日：2014-12-18
申请人： 光驰科技(上海)有限公司
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C23C14/56 , C23C14/246
摘要： 本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及自动化连续式防污膜镀膜装置，特别是适用于对液态有机蒸镀材料进行真空蒸发镀膜的镀膜装置，其特征在于：所述真空蒸镀室与所述真空预热室之间设置有一可启闭的闸阀；所述真空预热室内设置有加液系统、推送机构、加热装置和坩埚，所述加液系统向所述坩埚中加注蒸镀所述防污膜的膜料，所述加热装置承载并加热所述坩埚，所述推送机构通过推送杆连接所述坩埚，以使所述坩埚实现在所述真空蒸镀室和所述真空预热室之间的往返移动。本发明的优点是：可以进行自动化、连续式镀膜；可以对液态镀膜材料进行精确定量的镀膜，不但提高了镀膜精度，同时降低了因使用固态药片所导致的高成本。
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公开(公告)号：CN104878356B
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201510304340.8
申请日：2015-06-08
申请人： 光驰科技(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及真空镀膜领域，尤其是一种磁控溅射靶材磁铁放置角度的确定方法，其特征在于：所述确定方法至少包括以下步骤：基于knudsen定律，利用解析法计算在不同磁铁放置角度下，所述基板旋转时所形成的膜厚分布，从中选择最优膜厚分布所对应的磁铁放置角度作为磁铁放置角度的最优初始值。本发明的优点是：能精确确定磁铁放置的最佳角度，从而使镀膜厚度的均一性得到保证；计算量小，EXCEL就可以算；较直接，比较容易分析各个变量对于结果的影响。
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公开(公告)号：CN103143809A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310092722.X
申请日：2013-03-21
申请人： 光驰科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供一种同时焊接多条焊缝的方法，包括：步骤一，焊接前处理；步骤二，焊接零件组装；步骤三，构建氩气氛围：分别向焊接零件的焊接侧和渗透侧通氩气，在两侧均构建氩气氛围；步骤四，预热；步骤五，加热并均温：加热至超过焊接温度后，等待一段可以使热量在焊接零件内部传递均匀并且温度降回至焊接温度的时间；步骤六，焊接：分别对所述多条焊缝加入焊料进行焊接；步骤七，降温：所有焊缝焊接完毕后停止通氩气，将焊接好的部件投入到冷水中急冷去除氧化物；步骤八，焊接后处理。本发明还提供一种实现上述同时焊接多条焊缝的方法的焊接辅助工具，包括安装在焊接零件焊接侧的焊接侧气体罩和安装在焊接零件渗透侧的渗透侧气体罩。
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公开(公告)号：CN104498890B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201410786745.5
申请日：2014-12-18
申请人： 光驰科技(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及用于防污膜镀膜的加液系统，特别是适用于对液态材料进行精确计量并加注的装置，其特征在于：所述加液系统至少包括一套加药装置,所述加药装置由加药控制器、容积式计量阀和滴药阀构成，所述容积式计量阀的药液进口与所述防污膜料药液瓶连通，所述容积式计量阀的药液出口与所述滴药阀连通，所述滴药阀的滴药口通向所述坩埚，所述加药控制器分别连接控制所述容积式计量阀和所述滴药阀。本发明的优点是：可以进行自动化、无需开腔破真空加药。
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公开(公告)号：CN103143809B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201310092722.X
申请日：2013-03-21
申请人： 光驰科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供一种同时焊接多条焊缝的方法，包括：步骤一，焊接前处理；步骤二，焊接零件组装；步骤三，构建氩气氛围：分别向焊接零件的焊接侧和渗透侧通氩气，在两侧均构建氩气氛围；步骤四，预热；步骤五，加热并均温：加热至超过焊接温度后，等待一段可以使热量在焊接零件内部传递均匀并且温度降回至焊接温度的时间；步骤六，焊接：分别对所述多条焊缝加入焊料进行焊接；步骤七，降温：所有焊缝焊接完毕后停止通氩气，将焊接好的部件投入到冷水中急冷去除氧化物；步骤八，焊接后处理。本发明还提供一种实现上述同时焊接多条焊缝的方法的焊接辅助工具，包括安装在焊接零件焊接侧的焊接侧气体罩和安装在焊接零件渗透侧的渗透侧气体罩。
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公开(公告)号：CN111254408B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202010146748.8
申请日：2020-03-05
申请人： 光驰科技(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及真空薄膜制备技术领域，尤其是一种镀膜基片的安装、拆卸的方法，其在基板上设置高低起伏的粘贴面，粘贴面用于与基片粘结固定以使基片安装固定到基板上，且粘结面在基片的片体范围内形成有粘结力相对较小的区域以及粘结力相对较大的区域；自粘结力相对较小的粘结区域至粘结力相对较大的粘结区域克服基片与粘结面之间的粘结力对基片进行逐步剥离揭取，实现基片与基板的拆卸分离。本发明的优点是：可提供基片安装固定所需的足够粘结力满足其安装要求，且所提供的粘结力可针对不同的基片可调，灵活程度高，通用性强，适应面广；实现基片安全、高效地揭取，保证基片在揭取操作时的安全性，避免基片发生破损，有效保障基片质量。
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