一种多孔金刚石薄膜的制备方法
摘要:
本发明公开了一种多孔金刚石薄膜的制备方法,将硅衬底放置于微波等离子体化学气相沉积装置中,所述硅衬底表面镀有一层金属Pt薄膜作为催化剂;将真空度控制在10-30毫巴,通入工作气体载入碳源至微波等离子发生区域,加热至750-850℃;沉积得到块体的金刚石薄膜;将薄膜在500-600℃空气氛围中煅烧,得到多孔金刚石薄膜。该方法不需要模板,也无需复杂的预处理工艺和高温过程,能够避免金属污染,使处理工序更加简化。
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