考虑光子晶体表面氧化膜分布的偏振特性数值计算方法
摘要:
考虑光子晶体表面氧化膜分布的偏振特性数值计算方法,本发明涉及偏振特性数值计算方法。本发明为了解决现有的技术未考虑不同位置处膜厚的不均匀性及工作量大、速度慢的问题。具体是按照以下步骤进行的:步骤一、在已知光子晶体结构参数的情况下,通过FDTD数值模拟方法,求得光子晶体上方的空间电磁场分布;步骤二、计算辐射偏振特性,用光学椭偏参数表示;步骤三、计算穆勒矩阵元素,建立数据库;步骤四、利用仪器对光子晶体表面的光学椭偏参数进行测量,并计算穆勒矩阵元素,然后与数据库对比,得到对应的光子晶体表面氧化膜厚度及氧化膜分布不同位置。本发明应用于测量光子晶体表面氧化膜领域。
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