具有横向偏移的BEVA/TEVA的RRAM单元结构
摘要:
本发明涉及一种具有轴偏移或横向偏移的顶电极通孔(TEVA)和底电极通孔(BEVA)的电阻式随机存取存储器(RRAM)单元架构。具有同轴的TEVA和BEVA的传统RRAM单元能够引起高接触电阻变化率。本发明中的轴偏移的TEVA和BEVA促使TEVA远离RRAM单元上方的绝缘层,这样能够提高接触电阻变化率。本发明也涉及一种具有矩形RRAM单元的存储器件,该RRAM单元具有能够降低形成电压且提高数据保持的较大区域。本发明还公开了具有横向偏移的BEVA/TEVA的RRAM单元结构。
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