发明公开
CN104525541A 玻璃基板清洗箱及清洗装置
无效 - 驳回
- 专利标题: 玻璃基板清洗箱及清洗装置
- 专利标题(英): Glass substrate cleaning box and cleaning device
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申请号: CN201410636109.4申请日: 2014-11-11
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公开(公告)号: CN104525541A公开(公告)日: 2015-04-22
- 发明人: 李亮亮 , 郑载润 , 王世凯 , 金童燮 , 梁亚东 , 王明明
- 申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区站前路99号南海大厦502室
- 专利权人: 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区站前路99号南海大厦502室
- 代理机构: 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号: B08B11/04
- IPC分类号: B08B11/04 ; B08B13/00
摘要:
本发明公开一种玻璃基板清洗箱,涉及玻璃基板的清洗技术领域,能够解决药液浪费的技术问题。该清洗箱由顶面、底面和侧面围成密闭的箱体,箱体上设有进水孔、出水孔和排气孔,箱体的两个相对内侧面之间固设有隔板,隔板将箱体分割成两个底部相连通的腔体。本发明实施例中的清洗箱不会使泡沫随气体排出到箱体外部,能够有效减少药液的浪费,进而延长药液的使用时间。
IPC分类: