主动补偿式低涡流轴动式气浮轴承
摘要:
主动补偿式低涡流轴动式气浮轴承,属于气浮式超精密轴承技术领域。本发明是为了解决气浮轴承采用反复检测、研磨及装配的方式提高其精度,执行难度大周期长,并且精度提高幅度有限的问题。它安装于负载和基座之间,用于实现负载相对于基座的高精度回转运动;气浮轴承包括气浮轴、气浮轴套、封气套、泄气孔、径向节流孔、O型密封圈、顺时针主动涡流供气气腔、气浮轴承供气孔、止推面节流孔、逆时针主动涡流供气气腔、逆时针主动涡流供气孔、逆时针主动涡流非径向节流孔、顺时针主动涡流非径向节流孔和顺时针主动涡流供气孔。本发明为一种主动补偿式气浮轴承。
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