发明公开
CN104538288A 一种直接生长原子尺度二维半导体异质结的装置及方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种直接生长原子尺度二维半导体异质结的装置及方法
- 专利标题(英): Device and method for directly growing atom-dimension two-dimensional semiconductor heterojunction
-
申请号: CN201410752136.8申请日: 2014-12-09
-
公开(公告)号: CN104538288A公开(公告)日: 2015-04-22
- 发明人: 胡平安 , 张甲 , 陈晓爽 , 郑威 , 冯伟 , 刘光波
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 哈尔滨龙科专利代理有限公司
- 代理商 高媛
- 主分类号: H01L21/04
- IPC分类号: H01L21/04 ; H01L21/67 ; B82Y40/00
摘要:
本发明公开了一种直接生长原子尺度二维半导体异质结的装置及方法。所述装置包括气氛调节装置、快速切换装置、石英管、加热装置和真空调节装置,石英管的中段位于加热装置内部,石英管的左右两端设置有快速切换装置,所述快速切换装置包括切换杆、后端盖、前端盖、第一套筒、第二套筒、第一耐高温O型圈、第二耐高温O型圈和石英构件。该装置具有有效、快速、结构简单的优点,利用该反应装置可以直接在基底表面生长原子尺度的二维半导体异质结。这种装置不仅可以用来生长异质结,也可以在一次反应中生长两种或两种以上的单一物质,从而缩短了材料生长的时间、降低了生长成本、提高了生产效率。
公开/授权文献
- CN104538288B 一种直接生长原子尺度二维半导体异质结的装置及方法 公开/授权日:2017-08-11