一种钽酸锂晶片的磨削加工方法
摘要:
一种钽酸锂晶片的磨削加工方法,包括如下步骤:(1)将金刚石组合砂轮固定在磨床的转盘上;(2)将待加工的钽酸锂晶片固定在基板上,所述基板固定在工作台上;(3)加工前开启冷却液覆盖所述待加工的钽酸锂晶片的全部表面,所述冷却液含有电解质溶液,加工时调节切削力大小、主轴转速、工件旋转轴转速和工件进给速度进行磨削加工,制得钽酸锂晶片。本发明提供一种加工效率高、成品率高、有效解决加工时容易产生划痕和易断裂的问题的钽酸锂晶片的磨削加工方法。
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