公开(公告)号：CN104551871B

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201410849308.3

申请日：2014-12-31

申请人： 浙江工业大学

发明人： 杭伟 ,  周立波 ,  袁巨龙 ,  林旺票 ,  王洁 ,  邓乾发 ,  曹霖霖

IPC分类号： B24B1/00 ,  B24B7/10 ,  B24B55/00

摘要： 一种钽酸锂晶片的磨削加工方法，包括如下步骤：(1)将金刚石组合砂轮固定在磨床的转盘上；(2)将待加工的钽酸锂晶片固定在基板上，所述基板固定在工作台上；(3)加工前开启冷却液覆盖所述待加工的钽酸锂晶片的全部表面，所述冷却液含有电解质溶液，加工时调节切削力大小、主轴转速、工件旋转轴转速和工件进给速度进行磨削加工，制得钽酸锂晶片。本发明提供一种加工效率高、成品率高、有效解决加工时容易产生划痕和易断裂的问题的钽酸锂晶片的磨削加工方法。

公开(公告)号：CN104752603A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201410850524.X

申请日：2014-12-31

申请人： 浙江工业大学

发明人： 杭伟 ,  周立波 ,  袁巨龙 ,  王洁 ,  林旺票 ,  邓乾发 ,  曹霖霖

IPC分类号： H01L41/35

摘要： 一种基于电场能抵消效应的铁电材料表面超精密加工方法，在铁电材料超精密加工时加入冷却液，所述冷却液中加入电解质溶液，通过所述电解质溶液中的自由离子来中和铁电材料被加工时由于压电效应和热释电效应产生的正负电荷，消除铁电材料内部产生的电场。本发明提供一种有效消除逆压电效应产生的内应力、加工效果较好、成品率较高的基于电场能抵消效应的铁电材料表面超精密加工方法。

公开(公告)号：CN104551871A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410849308.3

申请日：2014-12-31

申请人： 浙江工业大学

发明人： 杭伟 ,  周立波 ,  袁巨龙 ,  林旺票 ,  王洁 ,  邓乾发 ,  曹霖霖

IPC分类号： B24B1/00 ,  B24B7/10 ,  B24B55/00

CPC分类号： B24B1/00

摘要： 一种钽酸锂晶片的磨削加工方法，包括如下步骤：(1)将金刚石组合砂轮固定在磨床的转盘上；(2)将待加工的钽酸锂晶片固定在基板上，所述基板固定在工作台上；(3)加工前开启冷却液覆盖所述待加工的钽酸锂晶片的全部表面，所述冷却液含有电解质溶液，加工时调节切削力大小、主轴转速、工件旋转轴转速和工件进给速度进行磨削加工，制得钽酸锂晶片。本发明提供一种加工效率高、成品率高、有效解决加工时容易产生划痕和易断裂的问题的钽酸锂晶片的磨削加工方法。

公开(公告)号：CN204123241U

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201420495587.3

申请日：2014-08-29

申请人： 浙江工业大学

发明人： 戴伟涛 ,  董晨晨 ,  吕冰海 ,  余龙芬 ,  翁海舟 ,  邓乾发 ,  袁巨龙 ,  李敏 ,  林旺票

IPC分类号： B24B29/00 ,  C09G1/02

摘要： 一种基于非牛顿流体剪切增稠与电解复合效应的超精密加工装置，包括抛光工具、抛光工具夹具、工件夹具和抛光池，所述抛光工具位于抛光池内，所述抛光池内放置抛光液，所述工件夹具上的工件位于抛光池内且与所述抛光工具之间存在间隙，所述工件夹具与工件驱动机构连接，所述抛光工具夹具与抛光工具驱动机构连接，所述工件夹具的导电件与电源阳极连接，所述抛光工具夹具的导电件与电源阴极连接，所述抛光液为在具有剪切增稠效应的非牛顿流体中添加磨粒或微粉、电解液成分的抛光液。本实用新型适用范围广、效率高、质量高、成本低、装置结构与控制简单。