光致等离子体三维温度场的测量装置和测量方法
摘要:
本发明公开了一种光致等离子体三维温度场的测量装置和测量方法。在光致等离子体周围分布式布置若干组摄像头,每组由两个在镜头前端安装不同中心波长滤光片的摄像头组成。所有摄像头由同步外触发装置保证严格同步触发,获取光致等离子体同一时刻的不同角度、不同特征谱线的投影图像。对获取的光致等离子体投影图像,采用由投影重建物体三维图像的算法,计算出光致等离子体两个特征谱线的空间亮度分布,最后采用相对谱线强度法计算出光致等离子体三维温度场。本发明公开的测量装置及方法具有简单易行、测量精度高、测量对象范围广等优点,可用于激光加工过程光致等离子体物理参数的在线检测、激光加工过程质量监控等方面。
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