一种核聚变装置的移动式射频辉光电极
摘要:
本发明属于一种核聚变装置真空室器壁处理装置,具体涉及一种核聚变装置的移动式射频辉光电极,它包括螺旋式射频电极、伸缩驱动机构,伸缩驱动机构上设有螺旋式射频电极。其优点是,射频电极采用碟形波纹管运动机构进行驱动,可根据实验要求方便快速调整电极位置。螺旋式结构电极工作在高频交变电场作用下,增加了电子与气体分子发生碰撞的几率增加,对清除真空室器壁表面的低质量数杂质效率更高。电极冷却采用了水冷结构,降低了电极因长时间使用发生变形的几率。提高了该系统运行的安全性。
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