一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机
摘要:
本发明公开了一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、冷辊、纠偏装置、两个或两个以上的回转换靶装置、以及与每个回转换靶装置位置相对应的两面开口的阴极小室,开卷机构和收卷机构处各设有一组纠偏装置;阴极小室分布于冷辊包覆有基带的圆周面上,且每组回转换靶装置及与其对应的阴极小室均与冷辊设于同一轴线上;开卷机构和收卷机构带动基带实现往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时快速更换阴极靶,并利用基材往复运动实现多层膜层的镀制;一次镀膜行程可以完成多层膜层的镀制,大大提高了镀膜效率,尤其适合于大批量高效率生产。
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