发明授权
- 专利标题: 阵列基板及其制作方法、显示装置
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申请号: CN201510010076.7申请日: 2015-01-08
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公开(公告)号: CN104617104B公开(公告)日: 2017-06-13
- 发明人: 舒适 , 孙双 , 崔承镇 , 张锋
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京润泽恒知识产权代理有限公司
- 代理商 苏培华
- 主分类号: H01L27/12
- IPC分类号: H01L27/12 ; H01L21/77
摘要:
本发明涉及显示技术领域,公开了一种阵列基板制作方法,包括:在衬底基板上形成包括遮光层、缓冲层、有源层、栅绝缘层、栅线、公共电极线和栅极的图形;形成层间绝缘薄膜,并利用第一光刻胶对所述层间绝缘薄膜图案化,形成源漏金属薄膜和第二光刻胶,通过所述第一光刻胶和第二光刻胶配合形成层间绝缘层、源极、漏极和数据线的图形;形成包括有机绝缘层和公共电极的图形,并连接跨越栅线和公共电极线的数据线;形成包括钝化层、像素电极的图形。还公开了一种阵列基板和显示装置。本发明形成层间绝缘层、源极和漏极只需一次mask工艺,相对于现有技术减少一次mask次数,从而降低了工艺复杂度和工艺成本,提高了产率。
公开/授权文献
- CN104617104A 阵列基板及其制作方法、显示装置 公开/授权日:2015-05-13
IPC分类: