阵列基板及其制作方法、显示装置
摘要:
本发明涉及显示技术领域,公开了一种阵列基板制作方法,包括:在衬底基板上形成包括遮光层、缓冲层、有源层、栅绝缘层、栅线、公共电极线和栅极的图形;形成层间绝缘薄膜,并利用第一光刻胶对所述层间绝缘薄膜图案化,形成源漏金属薄膜和第二光刻胶,通过所述第一光刻胶和第二光刻胶配合形成层间绝缘层、源极、漏极和数据线的图形;形成包括有机绝缘层和公共电极的图形,并连接跨越栅线和公共电极线的数据线;形成包括钝化层、像素电极的图形。还公开了一种阵列基板和显示装置。本发明形成层间绝缘层、源极和漏极只需一次mask工艺,相对于现有技术减少一次mask次数,从而降低了工艺复杂度和工艺成本,提高了产率。
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