- 专利标题: 一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线
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申请号: CN201510103231.X申请日: 2015-03-09
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公开(公告)号: CN104651792B公开(公告)日: 2017-04-19
- 发明人: 朱锡芳 , 杨辉 , 许清泉 , 陈功 , 徐安成
- 申请人: 常州工学院
- 申请人地址: 江苏省常州市新北区巫山路1号
- 专利权人: 常州工学院
- 当前专利权人: 常州常工院技术转移有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市新北区巫山路1号
- 代理机构: 南京知识律师事务所
- 代理商 高桂珍
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/56
摘要:
本发明公开了一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,属于镀膜设备领域。本发明包括开卷室、收卷室和镀膜真空室,开卷室与镀膜真空室之间还设有放卷储料室,收卷室与镀膜真空室之间还设有收卷储料室,放卷储料机构的前方设有热合机构,收卷储料机构的后方依次设有切断机构和基材变向机构;缠绕于两组开卷辊上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构、放卷储料机构、前处理机构、冷辊、收卷储料机构和切断机构,并经过基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊上。本发明利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊,并结合开卷和收卷的储料机构实现多卷基材的连续镀制,省去了中间换卷及抽真空的时间,大大提高了镀膜效率。
公开/授权文献
- CN104651792A 一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线 公开/授权日:2015-05-27