发明公开
CN104656682A 一种宏微两级驱动精密定位机构
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种宏微两级驱动精密定位机构
- 专利标题(英): Macro and micro two-stage driving precision positioning mechanism
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申请号: CN201410838052.6申请日: 2014-12-30
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公开(公告)号: CN104656682A公开(公告)日: 2015-05-27
- 发明人: 黄剑波 , 谭向全 , 郑黎明 , 王潇洵 , 孙强
- 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址: 吉林省长春市东南湖大路3888号
- 专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市东南湖大路3888号
- 代理机构: 长春菁华专利商标代理事务所
- 代理商 南小平
- 主分类号: G05D3/12
- IPC分类号: G05D3/12
摘要:
本发明一种宏微两级驱动精密定位机构,属于精密定位技术领域,解决了现有技术两级导轨制造和安装难度大、结构复杂化和制造成本高的技术问题;本发明包括压电驱动器、减震系统、基座、气浮导轨、宏动定位系统、微动定位滑块、支架和激光干涉测量仪;基座通过螺钉固定连接在减震系统的上端面,气浮导轨螺钉连接在基座一端上,支架螺钉连接在基座另一端上,激光干涉过螺钉连接在支架上,微动定位滑块与气浮导轨间隙配合;直线电机的动子与宏动定位钳制滑块固定连接,直线电机的定子与基座螺钉连接,两根钳制导轨螺钉连接在基座上;压电驱动器一端与微动定位滑块固定连接,另一端与宏动定位钳制滑块固定连接。
公开/授权文献
- CN104656682B 一种宏微两级驱动精密定位机构 公开/授权日:2017-07-14