一种宏微两级驱动精密定位机构
摘要:
本发明一种宏微两级驱动精密定位机构,属于精密定位技术领域,解决了现有技术两级导轨制造和安装难度大、结构复杂化和制造成本高的技术问题;本发明包括压电驱动器、减震系统、基座、气浮导轨、宏动定位系统、微动定位滑块、支架和激光干涉测量仪;基座通过螺钉固定连接在减震系统的上端面,气浮导轨螺钉连接在基座一端上,支架螺钉连接在基座另一端上,激光干涉过螺钉连接在支架上,微动定位滑块与气浮导轨间隙配合;直线电机的动子与宏动定位钳制滑块固定连接,直线电机的定子与基座螺钉连接,两根钳制导轨螺钉连接在基座上;压电驱动器一端与微动定位滑块固定连接,另一端与宏动定位钳制滑块固定连接。
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