发明公开
- 专利标题: 带有导通组件的微机械传感器及其加工方法
- 专利标题(英): Micromechanical sensor with conduction assembly and processing method thereof
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申请号: CN201510085418.1申请日: 2015-02-17
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公开(公告)号: CN104671189A公开(公告)日: 2015-06-03
- 发明人: 吴学忠 , 肖定邦 , 王兴华 , 侯占强 , 李青松 , 徐强 , 李文印 , 刘乐乐 , 卢坤 , 罗伟蓬
- 申请人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 申请人地址: 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学三院
- 专利权人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 当前专利权人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学三院
- 代理机构: 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 赵洪; 钟声
- 主分类号: B81B7/00
- IPC分类号: B81B7/00 ; B81C1/00 ; B81C3/00
摘要:
本发明公开了一种带有导通组件的微机械传感器及其加工方法。该微机械传感器包括上盖、敏感硅结构和下盖,所述上盖上设有上固定电容板,所述下盖上设有与所述上固定电容板相对的下固定电容板,所述敏感硅结构设于上固定电容板和下固定电容板之间,所述上盖和下盖之间还设有用于将所述上固定电容板的金属电极引至下盖的导通组件,有效解决上盖板电极的引出难题,结构简单、成本低廉;本发明的加工方法,包括以下步骤:S1:加工下盖、上盖、敏感硅结构和导通硅桥;S2:固连;S3:激光划片加工,该方法简便易行,大大降低了加工成本和加工工艺难度。
公开/授权文献
- CN104671189B 带有导通组件的微机械传感器及其加工方法 公开/授权日:2016-09-28