公开(公告)号：CN104671189A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201510085418.1

申请日：2015-02-17

申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学

发明人： 吴学忠 ,  肖定邦 ,  王兴华 ,  侯占强 ,  李青松 ,  徐强 ,  李文印 ,  刘乐乐 ,  卢坤 ,  罗伟蓬

IPC分类号： B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

摘要： 本发明公开了一种带有导通组件的微机械传感器及其加工方法。该微机械传感器包括上盖、敏感硅结构和下盖，所述上盖上设有上固定电容板，所述下盖上设有与所述上固定电容板相对的下固定电容板，所述敏感硅结构设于上固定电容板和下固定电容板之间，所述上盖和下盖之间还设有用于将所述上固定电容板的金属电极引至下盖的导通组件，有效解决上盖板电极的引出难题，结构简单、成本低廉；本发明的加工方法，包括以下步骤：S1：加工下盖、上盖、敏感硅结构和导通硅桥；S2：固连；S3：激光划片加工，该方法简便易行，大大降低了加工成本和加工工艺难度。

公开(公告)号：CN104671189B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201510085418.1

申请日：2015-02-17

申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学

发明人： 吴学忠 ,  肖定邦 ,  王兴华 ,  侯占强 ,  李青松 ,  徐强 ,  李文印 ,  刘乐乐 ,  卢坤 ,  罗伟蓬

IPC分类号： B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

摘要： 本发明公开了一种带有导通组件的微机械传感器及其加工方法。该微机械传感器包括上盖、敏感硅结构和下盖，所述上盖上设有上固定电容板，所述下盖上设有与所述上固定电容板相对的下固定电容板，所述敏感硅结构设于上固定电容板和下固定电容板之间，所述上盖和下盖之间还设有用于将所述上固定电容板的金属电极引至下盖的导通组件，有效解决上盖板电极的引出难题，结构简单、成本低廉；本发明的加工方法，包括以下步骤：S1：加工下盖、上盖、敏感硅结构和导通硅桥；S2：固连；S3：激光划片加工，该方法简便易行，大大降低了加工成本和加工工艺难度。

公开(公告)号：CN104331080A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201410674429.9

申请日：2014-11-21

申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学

发明人： 徐晓红 ,  韩国良 ,  秦键 ,  杜青法 ,  张伦 ,  王宇轩 ,  徐强 ,  罗伟蓬 ,  吴国恒

IPC分类号： G05D1/02

摘要： 本发明公开了一种用于移动式机器人的定点跟踪路径规划方法，步骤包括：确定移动式机器人所需经过的关键点，确定初始斜率值范围并初始化路径最小值为0；从初始斜率值范围中搜索选择一个斜率作为当前初始斜率，求解各组相邻关键点之间的二次曲线，分别基于不同的当前初始斜率计算各组相邻关键点之间的二次曲线按顺序连接所组成路径曲线的总长度，选择总长度最小的路径曲线经离散化处理，最终得到移动式机器人的实际轨迹曲线的离散点坐标和速度。本发明利用少量关键位置信息作为输入即可通过二次曲线拟合完成在动态情况下的路径寻优，兼具快速性和准确性，对机器人传感器和处理器要求低。

公开(公告)号：CN105424017B

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201610018610.3

申请日：2016-01-12

申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学

发明人： 肖定邦 ,  吴学忠 ,  李圣怡 ,  侯占强 ,  陈志华 ,  李文印 ,  王兴华 ,  胡启俊 ,  徐强

IPC分类号： G01C19/56

摘要： 本发明公开了一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，包括上玻璃盖板、下玻璃盖板及采用低电阻率硅制成的硅敏感结构，硅敏感结构布置于上玻璃盖板、下玻璃盖板之间，硅敏感结构的应力释放框架的中部设有主梁，主梁上设有偶数组质量块，每组质量块包括相对主梁对称布置的两个质量块，质量块分别通过支撑梁和主梁相连，上玻璃盖板、下玻璃盖板上均设有偶数组金属电极，一组金属电极和一组质量块一一对应，且每组质量块位于上玻璃盖板上对应的金属电极、下玻璃盖板上对应的金属电极之间。本发明具有驱动振幅不受电容间隙限制、结构对称性好、受空气阻尼影响小、灵敏度高、结构简单的优点。

公开(公告)号：CN104331080B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201410674429.9

申请日：2014-11-21

申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学

发明人： 徐晓红 ,  韩国良 ,  秦键 ,  杜青法 ,  张伦 ,  王宇轩 ,  徐强 ,  罗伟蓬 ,  吴国恒

IPC分类号： G05D1/02

摘要： 本发明公开了一种用于移动式机器人的定点跟踪路径规划方法，步骤包括：确定移动式机器人所需经过的关键点，确定初始斜率值范围并初始化路径最小值为0；从初始斜率值范围中搜索选择一个斜率作为当前初始斜率，求解各组相邻关键点之间的二次曲线，分别基于不同的当前初始斜率计算各组相邻关键点之间的二次曲线按顺序连接所组成路径曲线的总长度，选择总长度最小的路径曲线经离散化处理，最终得到移动式机器人的实际轨迹曲线的离散点坐标和速度。本发明利用少量关键位置信息作为输入即可通过二次曲线拟合完成在动态情况下的路径寻优，兼具快速性和准确性，对机器人传感器和处理器要求低。

公开(公告)号：CN105424017A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201610018610.3

申请日：2016-01-12

申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学

发明人： 肖定邦 ,  吴学忠 ,  李圣怡 ,  侯占强 ,  陈志华 ,  李文印 ,  王兴华 ,  胡启俊 ,  徐强

IPC分类号： G01C19/56

CPC分类号： G01C19/56

摘要： 本发明公开了一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，包括上玻璃盖板、下玻璃盖板及采用低电阻率硅制成的硅敏感结构，硅敏感结构布置于上玻璃盖板、下玻璃盖板之间，硅敏感结构的应力释放框架的中部设有主梁，主梁上设有偶数组质量块，每组质量块包括相对主梁对称布置的两个质量块，质量块分别通过支撑梁和主梁相连，上玻璃盖板、下玻璃盖板上均设有偶数组金属电极，一组金属电极和一组质量块一一对应，且每组质量块位于上玻璃盖板上对应的金属电极、下玻璃盖板上对应的金属电极之间。本发明具有驱动振幅不受电容间隙限制、结构对称性好、受空气阻尼影响小、灵敏度高、结构简单的优点。