- 专利标题: 一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机
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申请号: CN201510068119.7申请日: 2015-02-09
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公开(公告)号: CN104674176B公开(公告)日: 2017-06-09
- 发明人: 朱锡芳 , 杨辉 , 陈功 , 许清泉 , 徐安成
- 申请人: 常州工学院
- 申请人地址: 江苏省常州市新北区巫山路1号
- 专利权人: 常州工学院
- 当前专利权人: 广东雄华新材料科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市新北区巫山路1号
- 代理机构: 南京知识律师事务所
- 代理商 高桂珍
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/56
摘要:
本发明公开了一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于真空镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、两组冷辊、纠偏装置和回转换靶装置,开卷机构和收卷机构之间的基带经过设于真空室内的换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上,开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置;每组冷辊的包覆有基带的圆周面上至少对应设置两组回转换靶装置,每组回转换靶装置与对应的冷辊之间均设置有一组两面开口的阴极小室;开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开真空室的情况下即可及时更换靶材,并利用双冷辊及基材的往复运动设计实现了双面多层膜层的连续镀制,大大提高了镀膜机双面镀膜的效率;结构紧凑,占地空间小。
公开/授权文献
- CN104674176A 一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 公开/授权日:2015-06-03