一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机
摘要:
本发明公开了一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于真空镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、两组冷辊、纠偏装置和回转换靶装置,开卷机构和收卷机构之间的基带经过设于真空室内的换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上,开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置;每组冷辊的包覆有基带的圆周面上至少对应设置两组回转换靶装置,每组回转换靶装置与对应的冷辊之间均设置有一组两面开口的阴极小室;开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开真空室的情况下即可及时更换靶材,并利用双冷辊及基材的往复运动设计实现了双面多层膜层的连续镀制,大大提高了镀膜机双面镀膜的效率;结构紧凑,占地空间小。
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