发明公开
- 专利标题: 一种单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机
- 专利标题(英): Magnetron sputtering winding coating machine capable of continuously coating in single-sided reciprocated way
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申请号: CN201510068222.1申请日: 2015-02-09
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公开(公告)号: CN104674182A公开(公告)日: 2015-06-03
- 发明人: 朱锡芳 , 许清泉 , 杨辉 , 陈功 , 徐安成
- 申请人: 常州工学院
- 申请人地址: 江苏省常州市新北区巫山路1号
- 专利权人: 常州工学院
- 当前专利权人: 灵通展览系统股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市新北区巫山路1号
- 代理机构: 南京知识律师事务所
- 代理商 高桂珍
- 主分类号: C23C14/56
- IPC分类号: C23C14/56 ; C23C14/35
摘要:
本发明公开了一种单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于真空镀膜设备领域。本发明的镀膜机包括真空室、开卷机构、冷却辊、收卷机构、阴极小室、回转换靶装置和纠偏装置,开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置;阴极小室和回转换靶装置设于冷却辊的下部,且冷却辊、阴极小室和回转换靶装置处于同一轴线上;回转换靶装置包括机座、回转盘、均匀分布于回转盘上的极靶座板;极靶座板旋转到阴极小室的下方,并向外伸出将靶芯嵌入阴极小室内;开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时更换阴极靶,并利用基材往复运动实现多层膜层的镀制,每层膜均单独镀制,便于膜层参数控制;设备结构紧凑,占地空间小。
公开/授权文献
- CN104674182B 一种单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 公开/授权日:2017-03-08