一种制备非晶碳化硅陶瓷-金刚石复合涂层的方法
摘要:
本发明公开了一种制备非晶碳化硅陶瓷‑金刚石复合涂层的方法;首先,采用大分子有机硅烷作为前驱体,采用大分子前驱裂解的方法在衬底表面裂解生成非晶碳化硅陶瓷薄膜,然后采用热丝化学气相沉积法原位沉积微米金刚石薄膜,以制备非晶碳化硅陶瓷‑金刚石复合涂层。与现有技术相比,本发明采用大分子前驱裂解的方法制备的非晶碳化硅过渡层可以有效阻隔两步法与处理之后硬质合金基体表面的残余钴相,同时改善硬质合金基体的粗化表面,制备获得的非晶碳化硅陶瓷‑金刚石复合涂层既具有优异的附着性能,又具有极高的耐磨损性能,适合用于制备高质量金刚石涂层刀具。
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