Invention Grant
- Patent Title: 用于压印的结构印模、装置以及方法
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Application No.: CN201280074370.9Application Date: 2012-09-06
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Publication No.: CN104704425BPublication Date: 2019-12-03
- Inventor: P.菲舍尔 , G.克赖因德尔 , J.哈明 , C.塔纳 , C.舍恩
- Applicant: EV , 集团 , E·索尔纳有限责任公司
- Applicant Address: 奥地利圣弗洛里安
- Assignee: EV,集团,E·索尔纳有限责任公司
- Current Assignee: EV,集团,E·索尔纳有限责任公司
- Current Assignee Address: 奥地利圣弗洛里安
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 陈浩然; 宣力伟
- International Application: PCT/EP2012/067430 2012.09.06
- International Announcement: WO2014/037044 DE 2014.03.13
- Date entered country: 2014-12-29
- Main IPC: G03F7/00
- IPC: G03F7/00

Abstract:
本发明涉及结构印模(5),带有:具有微结构化和/或纳米结构化的印模面(2)的柔性印模(1),印模面(2)用于将与印模面(2)对应的压印结构压印在压印面(6o)上;框架(3),其用于夹紧印模(1)。此外,本发明涉及用于将压印图案压印在压印面(6o)上的装置,带有以下特征:印模容纳部,其用于容纳根据上述权利要求中任一项所述的结构印模(5)且使之运动;压印材料容纳部,其用于相对于结构印模(5)容纳和布置压印材料(6);压印元件驱动部,其用于使尤其根据权利要求3、4、7或8中任一项构造的压印元件(8)沿着结构印模(5)运动。此外,本发明涉及对应的方法。
Public/Granted literature
- CN104704425A 用于压印的结构印模、装置以及方法 Public/Granted day:2015-06-10
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