用于压印的结构印模、装置以及方法
Abstract:
本发明涉及结构印模(5),带有:具有微结构化和/或纳米结构化的印模面(2)的柔性印模(1),印模面(2)用于将与印模面(2)对应的压印结构压印在压印面(6o)上;框架(3),其用于夹紧印模(1)。此外,本发明涉及用于将压印图案压印在压印面(6o)上的装置,带有以下特征:印模容纳部,其用于容纳根据上述权利要求中任一项所述的结构印模(5)且使之运动;压印材料容纳部,其用于相对于结构印模(5)容纳和布置压印材料(6);压印元件驱动部,其用于使尤其根据权利要求3、4、7或8中任一项构造的压印元件(8)沿着结构印模(5)运动。此外,本发明涉及对应的方法。
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