- 专利标题： X射线平板探测器及其制备方法与白色绝缘材料
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申请号： CN201510152077.5申请日： 2015-04-01
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公开(公告)号： CN104716152B公开(公告)日： 2018-09-14
- 发明人: 高锦成 , 曹占锋 , 姚琪 , 李正亮 , 何晓龙 , 张斌 , 孔祥春 , 张伟
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 黄灿; 王慧凤
- 主分类号： H01L27/146
- IPC分类号： H01L27/146
摘要：
本发明公开了一种X射线平板探测器及其制备方法与白色绝缘材料。X射线平板探测器，包括：薄膜晶体管基板；设置于该薄膜晶体管基板上具有反射作用的绝缘层，该绝缘层上设有暴露该薄膜晶体管基板的源极的接触孔；设置在该绝缘层上的像素电极，该像素电极通过该接触孔与该薄膜晶体管基板的源极导通；覆盖该像素电极的光电二极管；设置在该光电二极管上的电极；和设置在该电极上的X射线转换层。本发明的X射线平板探测器具有高量子探测效率和灵敏度。
公开/授权文献
- CN104716152A X射线平板探测器及其制备方法与白色绝缘材料 公开/授权日：2015-06-17