发明公开
- 专利标题: 微管谐振腔量子阱红外探测器
- 专利标题(英): Infrared detector for micro-tube resonant cavity quantum well
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申请号: CN201510145512.1申请日: 2015-03-31
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公开(公告)号: CN104733562A公开(公告)日: 2015-06-24
- 发明人: 陆卫 , 王晗 , 甄红楼 , 梅永丰 , 黄高山 , 李宁 , 陈效双 , 景友亮 , 李梁 , 李梦瑶
- 申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 申请人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 代理机构: 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 郭英
- 主分类号: H01L31/101
- IPC分类号: H01L31/101 ; H01L31/0304
摘要:
本发明公开了一种微管谐振腔量子阱红外探测器,自下而上依次包括:衬底、缓冲层、牺牲层、金属下电极、金属上电极、螺旋管状的功能薄膜层,其中,螺旋管状功能薄膜层由应力层、下电极层、腐蚀阻挡层、量子阱层、减薄层组成。本发明将量子阱内嵌在微管的管壁中,利用谐振腔的共振原理,将入射光限制在管壁中并沿其传播从而被量子阱吸收。本发明的优点:一、光耦合能力强,能够将入射光限制在管壁中形成共振增强,从而提高量子阱的吸收,改善器件灵敏度和量子效率;二、更宽的探测视角,微管的螺旋结构能够接受180o方向内入射光;三、微管的直径可调性,便于用户设计,简单的腐蚀即可获得不同直径微管以满足器件不同探测波长需求。
公开/授权文献
- CN104733562B 微管谐振腔量子阱红外探测器 公开/授权日:2016-09-28