公开(公告)号：CN104733562A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201510145512.1

申请日：2015-03-31

申请人： 中国科学院上海技术物理研究所

发明人： 陆卫 ,  王晗 ,  甄红楼 ,  梅永丰 ,  黄高山 ,  李宁 ,  陈效双 ,  景友亮 ,  李梁 ,  李梦瑶

IPC分类号： H01L31/101 ,  H01L31/0304

摘要： 本发明公开了一种微管谐振腔量子阱红外探测器，自下而上依次包括：衬底、缓冲层、牺牲层、金属下电极、金属上电极、螺旋管状的功能薄膜层，其中，螺旋管状功能薄膜层由应力层、下电极层、腐蚀阻挡层、量子阱层、减薄层组成。本发明将量子阱内嵌在微管的管壁中，利用谐振腔的共振原理，将入射光限制在管壁中并沿其传播从而被量子阱吸收。本发明的优点：一、光耦合能力强，能够将入射光限制在管壁中形成共振增强，从而提高量子阱的吸收，改善器件灵敏度和量子效率；二、更宽的探测视角，微管的螺旋结构能够接受180o方向内入射光；三、微管的直径可调性，便于用户设计，简单的腐蚀即可获得不同直径微管以满足器件不同探测波长需求。

公开(公告)号：CN104538482A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201410748129.0

申请日：2014-12-09

申请人： 中国科学院上海技术物理研究所

发明人： 陆卫 ,  王晗 ,  甄红楼 ,  梅永丰 ,  黄高山 ,  李宁 ,  陈效双 ,  景友亮 ,  李梁 ,  李梦瑶

IPC分类号： H01L31/101 ,  H01L31/0304

CPC分类号： H01L31/101 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0304 ,  H01L31/035209

摘要： 本发明公开了一种微管谐振腔量子阱红外探测器，自下而上依次包括：衬底、缓冲层、牺牲层、金属下电极、金属上电极、螺旋管状的功能薄膜层，其中，螺旋管状功能薄膜层由应力层、下电极层、腐蚀阻挡层、量子阱层、减薄层组成。本发明将量子阱内嵌在微管的管壁中，利用谐振腔的共振原理，将入射光限制在管壁中并沿其传播从而被量子阱吸收。本发明的优点：一、光耦合能力强，能够将入射光限制在管壁中形成共振增强，从而提高量子阱的吸收，改善器件灵敏度和量子效率；二、更宽的探测视角，微管的螺旋结构能够接受180°方向内入射光；三、微管的直径可调性，便于用户设计，简单的腐蚀即可获得不同直径微管以满足器件不同探测波长需求。

公开(公告)号：CN104733562B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201510145512.1

申请日：2015-03-31

申请人： 中国科学院上海技术物理研究所

发明人： 陆卫 ,  王晗 ,  甄红楼 ,  梅永丰 ,  黄高山 ,  李宁 ,  陈效双 ,  景友亮 ,  李梁 ,  李梦瑶

IPC分类号： H01L31/101 ,  H01L31/0304

摘要： 本发明公开了一种微管谐振腔量子阱红外探测器，自下而上依次包括：衬底、缓冲层、牺牲层、金属下电极、金属上电极、螺旋管状的功能薄膜层，其中，螺旋管状功能薄膜层由应力层、下电极层、腐蚀阻挡层、量子阱层、减薄层组成。本发明将量子阱内嵌在微管的管壁中，利用谐振腔的共振原理，将入射光限制在管壁中并沿其传播从而被量子阱吸收。本发明的优点：一、光耦合能力强，能够将入射光限制在管壁中形成共振增强，从而提高量子阱的吸收，改善器件灵敏度和量子效率；二、更宽的探测视角，微管的螺旋结构能够接受180o方向内入射光；三、微管的直径可调性，便于用户设计，简单的腐蚀即可获得不同直径微管以满足器件不同探测波长需求。