发明授权
- 专利标题: 激光气相沉积方式修补白缺陷的方法
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申请号: CN201510097968.5申请日: 2015-03-04
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公开(公告)号: CN104746041B公开(公告)日: 2018-02-13
- 发明人: 张俊 , 李跃松
- 申请人: 深圳清溢光电股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号清溢大厦
- 专利权人: 深圳清溢光电股份有限公司
- 当前专利权人: 深圳清溢光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号清溢大厦
- 代理机构: 深圳中一专利商标事务所
- 代理商 张全文
- 主分类号: C23C16/44
- IPC分类号: C23C16/44 ; C23C14/28
摘要:
本发明公开了一种激光气相沉积方式修补白缺陷的方法,包括:在靠近所述白缺陷的一角设置修补起点,在靠近所述白缺陷的所述修补起点的对角设置修补终点,使得在所述白缺陷所在平面上,以所述修补起点沿横向延伸的直线、所述修补起点沿纵向延伸的直线、所述修补终点沿横向延伸的直线、所述修补终点沿纵向延伸的直线围成的区域为扫描修补区域,所述白缺陷完全位于所述扫描修补区域内;采用激光气相沉积方式在所述扫描修补区域内从所述修补起点扫描修补至所述修补终点,使所述白缺陷表面完全覆盖修补薄膜完成所述修补。本发明实施例的激光气相沉积方式修补白缺陷的方法,通过扫描修补的方式,可以修补大尺寸的白缺陷。
公开/授权文献
- CN104746041A 激光气相沉积方式修补白缺陷的方法 公开/授权日:2015-07-01