- 专利标题: 直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置
- 专利标题(英): Device for cleaning first mirror for tokamak device by direct-current cascade arc plasma torch
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申请号: CN201510185627.3申请日: 2015-04-20
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公开(公告)号: CN104772305A公开(公告)日: 2015-07-15
- 发明人: 丁洪斌 , 王勇 , 李聪 , 王志伟 , 吴兴伟 , 陈俊凌
- 申请人: 大连理工大学
- 申请人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 代理机构: 大连星海专利事务所
- 代理商 裴毓英
- 主分类号: B08B7/00
- IPC分类号: B08B7/00
摘要:
本发明提供一种直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置,包括级联弧等离子体炬发生系统、冷却水供给系统、支撑系统和反射率检测系统,所述级联弧等离子体炬发生系统包括真空腔室、级联源、直流电源、真空单元、供气单元和冷却单元,所述级联源设置在真空腔室的一端,所述直流电源与级联源电连,所述供气单元与级联源通过管路连接,所述真空单元与真空腔室连接,所述冷却单元设置在级联源内。本发明直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置结构简单、合理、紧凑,该装置基于直流级联弧等离子体炬技术,能够在不引入杂质的前提下,实现对第一镜样品表面杂质沉积层的大面积均匀清洗,快速去除杂质沉积层。
公开/授权文献
- CN104772305B 直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置 公开/授权日:2017-12-26