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公开(公告)号:CN116046700A
公开(公告)日:2023-05-02
申请号:CN202310001378.2
申请日:2023-01-03
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明涉及低温等离子体诊断技术领域,提供一种等离子体中活性氮氧化物种时空分布的检测系统,包括:宽带连续光源用于提供初始探测光束;光束整形切片系统用于将初始光束转换为片状平行探测光束;高精度时序可控电源用于提供高压激励源,使得沿面放电反应腔室产生大量活性氮氧化物种;平凸柱面透镜用于将沿面放电反应腔室的出射探测光束聚焦进单色仪;光电倍增管用于采集单色仪的光谱信号;计算机用于实时处理光谱信号,获取活性氮氧化物种的时空分布信息。本发明能够方便有效地诊断等离子体中产生的活性氮氧化物种的时空演化行为。
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公开(公告)号:CN113382525A
公开(公告)日:2021-09-10
申请号:CN202110695553.3
申请日:2021-06-23
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明提供一种多通道大面积高密度直流电弧等离子体源,包括:阴极、阴极座、阳极和级联片单元,阴极固定于阴极座上,级联片单元设置在阴极座与阳极之间,级联片单元包括多个平行叠置的级联片;阴极座与级联片之间,相邻级联片之间,级联片与阳极间设置有绝缘件和真空密封橡胶圈;阴极座、级联片和阳极分别设置有七个通孔构成放电通道。本发明的放电通道产生的大面积高密度等离子体束流能用于等离子体与物质相互作用的科学研究及工业应用,特别是用于辐照大尺寸的聚变材料或装置部件。放电通道都能独立控制,调节不同通道的放电参数改变等离子体参数及束流的空间分布,能满足科学研究和工业应用,以及聚变堆中不同位置部件的模拟辐照实验条件。
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公开(公告)号:CN110176386A
公开(公告)日:2019-08-27
申请号:CN201910504585.3
申请日:2019-06-12
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明涉及质谱分析技术领域,提供一种改进飞行时间质谱测量激光烧蚀离子物种的质谱分辨装置,包括:真空系统单元、等离子体产生单元和粒子约束选择及分离单元,其中:所述粒子约束选择及分离单元包括:粒子限制选择器和多个离子脉冲加速电极板;所述粒子限制选择器包括约束器托举块、约束器和约束器选择挡片;所述约束器托举块中开设一个通孔;所述约束器选择挡片上设置不同孔径的多个圆孔,所述约束器和约束器选择挡片设置在约束器托举块中并且可以移动;所述离子脉冲加速电极板设置在粒子前进方向上,并与约束器托举块轴向平行。本发明能够提高飞行时间质谱分辨率,能够选择控制引入等离子体的范围,具有更好的实用性效果。
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公开(公告)号:CN107426908A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201710569131.5
申请日:2017-07-13
申请人: 大连理工大学
IPC分类号: H05H1/24
摘要: 本发明提供一种低气压大面积、高密度等离子体产生装置及产生方法。等离子体产生装置包括真空系统、等离子体发生系统和基座;真空系统包括真空腔室、真空泵、真空蝶阀和真空规;等离子体发生系统包括上介质板、下介质板、低频交流电源、高频射频电源、上电极和下电极,上介质板嵌设在下介质板背离基座的一侧,上介质板与下介质板间包覆有下电极,上介质板背离下电极、且与下电极相对应处设置有上电极,上电极与上介质板之间设置有绝缘材料;低频交流电源与下电极连接,高频射频电源与下电极连接,上电极接地处理。该装置结构简单,基于介质阻挡放电技术与双频容性耦合技术,可在较低气压下,实现大面积、高密度等离子体放电。
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公开(公告)号:CN105575725B
公开(公告)日:2017-10-20
申请号:CN201610097012.X
申请日:2016-02-22
IPC分类号: H01H33/668 , G01L21/30
摘要: 本发明涉及开关电器领域,提供了一种真空开关中真空灭弧室的真空度在线监测装置和方法,旨在解决真空开关中灭弧室真空度在线监测的技术难题;本发明利用基于激光诱导击穿光谱仪发明的装置产生激光,将产生的激光作用到真空灭弧室内屏蔽罩表面,在屏蔽罩表面处产生激光诱导等离子体,通过对等离子体的光谱测量与分析,获取灭弧室内的真空度值,从而达到真空开关中灭弧室真空度在线监测的目的。
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公开(公告)号:CN104502330B
公开(公告)日:2017-06-27
申请号:CN201410776178.5
申请日:2014-12-12
申请人: 大连理工大学
IPC分类号: G01N21/73
摘要: 本发明涉及激光诱导击穿光谱检测技术领域,提供一种用于检测液体样品的激光诱导击穿光谱检测装置,所述装置包括:液体样品喷流单元,用于提供液体样品的喷流;介质阻挡放电等离子体射流单元,用于使液体样品的喷流周围产生大气压介质阻挡放电等离子体;激光入射单元,用于照射液体样品的喷流,使液体样品的喷流周围产生激光等离子体;所述信号接收单元,用于采集激光等离子体以及与放电等离子体相互作用增强的发射光信号,并将发射光信号转换为电信号得到光谱数据;所述数据分析单元,用于对所述信号接收单元得到的光谱数据进行显示和分析处理。本发明具有更高的信背比,更好的稳定性,更高的信号强度,更低的检出限。
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公开(公告)号:CN103884649B
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:CN201410109122.4
申请日:2014-03-21
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明涉及激光烧蚀光谱分析技术领域,公开了一种双脉冲激光诱导击穿光谱分析装置及方法,装置包括:控制系统,环境探测模块,包含于恒温机箱内部的双脉冲激光发射模块、光谱采集分析模块,以及设置在恒温机箱外部的摄像头模块;所述控制系统分别与环境探测模块、摄像头模块电连接。本发明能够在月球表面实现原位、在线、远程遥控条件下的月球表面矿样、土壤成分进行快速的精确分析,并且可以进行全元素的深度分析,同时对感兴趣的各种元素进行三维分析成像;此外,双脉冲激光诱导击穿光谱技术的应用保证探测系统在极低气压(近真空)环境下的较高探测灵敏度。
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公开(公告)号:CN104772305A
公开(公告)日:2015-07-15
申请号:CN201510185627.3
申请日:2015-04-20
申请人: 大连理工大学
IPC分类号: B08B7/00
CPC分类号: B08B7/0035
摘要: 本发明提供一种直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置,包括级联弧等离子体炬发生系统、冷却水供给系统、支撑系统和反射率检测系统,所述级联弧等离子体炬发生系统包括真空腔室、级联源、直流电源、真空单元、供气单元和冷却单元,所述级联源设置在真空腔室的一端,所述直流电源与级联源电连,所述供气单元与级联源通过管路连接,所述真空单元与真空腔室连接,所述冷却单元设置在级联源内。本发明直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置结构简单、合理、紧凑,该装置基于直流级联弧等离子体炬技术,能够在不引入杂质的前提下,实现对第一镜样品表面杂质沉积层的大面积均匀清洗,快速去除杂质沉积层。
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公开(公告)号:CN103196772B
公开(公告)日:2015-02-18
申请号:CN201310113726.1
申请日:2013-04-03
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明涉及脉冲激光沉积镀膜领域,公开了一种在线测量PLD薄膜化学计量比及各成分质量的方法。首先,在脉冲沉积镀膜过程中,用激光诱导击穿光谱(LIBS)测量沉积的薄膜中各个成分化学计量比;然后,用石英晶体微天平(QCM)测量薄膜总沉积量;最后,将LIBS的结果和QCM的结果相结合,得到薄膜中各成分的质量。本发明基于PLD技术、LIBS技术、QCM测膜厚技术,将LIBS和QCM相结合,弥补了LIBS定量分析比较困难,QCM不能进行物质分辨的不足。本发明能够在脉冲激光沉积镀膜过程中,实时原位在线测量薄膜化学计量比,不会对镀膜过程有干扰,并且方法简单,易于实现。
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