直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置
摘要:
本发明提供一种直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置,包括级联弧等离子体炬发生系统、冷却水供给系统、支撑系统和反射率检测系统,所述级联弧等离子体炬发生系统包括真空腔室、级联源、直流电源、真空单元、供气单元和冷却单元,所述级联源设置在真空腔室的一端,所述直流电源与级联源电连,所述供气单元与级联源通过管路连接,所述真空单元与真空腔室连接,所述冷却单元设置在级联源内。本发明直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置结构简单、合理、紧凑,该装置基于直流级联弧等离子体炬技术,能够在不引入杂质的前提下,实现对第一镜样品表面杂质沉积层的大面积均匀清洗,快速去除杂质沉积层。
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