发明授权
- 专利标题: 狭缝式模具涂布装置
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申请号: CN201480003040.X申请日: 2014-02-28
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公开(公告)号: CN104781016B公开(公告)日: 2017-03-29
- 发明人: 朴元灿 , 呂政炫 , 林艺勋
- 申请人: LG化学株式会社
- 申请人地址: 韩国首尔
- 专利权人: LG化学株式会社
- 当前专利权人: LG化学株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国首尔
- 代理机构: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理商 李静; 黄丽娟
- 优先权: 10-2013-0022223 2013.02.28 KR
- 国际申请: PCT/KR2014/001693 2014.02.28
- 国际公布: WO2014/133364 KO 2014.09.04
- 进入国家日期: 2015-05-14
- 主分类号: B05C5/02
- IPC分类号: B05C5/02 ; B05C11/00
摘要:
本申请涉及一种狭缝式模具涂布装置,更具体而言,涉及一种狭缝式模具涂布装置,该装置在进行狭缝式模具涂布时,能够通过降低真空室内的压力振荡来确保基膜的涂布稳定性。根据本申请的狭缝式模具涂布装置通过将压力振荡减低箱连接至真空室,可以有效抑制真空室内的压力振荡,因而能够确保基膜上的涂布稳定性,从而降低缺陷产品的比例。
公开/授权文献
- CN104781016A 狭缝式模具涂布装置 公开/授权日:2015-07-15