- 专利标题: 薄膜晶体管、其制造方法和具有薄膜晶体管的平板显示器
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申请号: CN201510019160.5申请日: 2015-01-14
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公开(公告)号: CN104795448B公开(公告)日: 2020-04-07
- 发明人: 车明根 , 朴常镐 , 罗玄宰 , 姜闰浩 , 金大颢
- 申请人: 三星显示有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 于会玲; 康泉
- 优先权: 10-2014-0006534 2014.01.20 KR
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; H01L29/423 ; H01L29/417 ; H01L29/43 ; H01L21/44 ; H01L21/34 ; H01L27/32 ; G02F1/1368
摘要:
本发明公开一种薄膜晶体管、其制造方法和具有薄膜晶体管的平板显示器。在一个方面中,该TFT包括基板和形成在基板上的有源层,其中,有源层由氧化物半导体形成,并且其中,有源层包括两个相对侧。TFT还包括形成在有源层的相对侧处的源极区和漏极区、形成在有源层上的第一绝缘层、形成在有源层上的栅电极、形成为覆盖第一绝缘层和栅电极的第二绝缘层、以及形成在源极区和漏极区上并且接触第二绝缘层的第一导电层。
公开/授权文献
- CN104795448A 薄膜晶体管、其制造方法和具有薄膜晶体管的平板显示器 公开/授权日:2015-07-22
IPC分类: