- 专利标题: 晶圆减薄的临时键合胶、其制备方法、键合及解键合方法
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申请号: CN201510179451.0申请日: 2015-04-16
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公开(公告)号: CN104804682B公开(公告)日: 2017-05-24
- 发明人: 孙蓉 , 方浩明 , 张国平 , 邓立波
- 申请人: 深圳市化讯半导体材料有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区新安街道68区留仙大道2号汇聚创新园A栋511、512室
- 专利权人: 深圳市化讯半导体材料有限公司
- 当前专利权人: 深圳市化讯半导体材料有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区新安街道68区留仙大道2号汇聚创新园A栋511、512室
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 巩克栋; 侯桂丽
- 主分类号: C09J161/22
- IPC分类号: C09J161/22 ; C09J5/06 ; C08G12/08
摘要:
本发明公开了晶圆减薄的临时键合胶、其制备方法、键合及解键合方法。该临时键合胶包含用于产生粘合作用的基础树脂,基础树脂为在强酸作用下可解聚成低分子化合物和/或线性低聚物,由此使得键合胶形成的粘合层采用酸液充分浸渍下发生明显的解聚合反应,即体型聚合物的结构被破坏,生成的低分子化合物或线性低聚物使得粘合层失效,达到提高解键合效率。另外,高聚物的分解温度在270℃以上,使得粘合层的热稳定性高。此外,所发明的键合胶抗腐蚀性优良,制备成本较为经济。
公开/授权文献
- CN104804682A 晶圆减薄的临时键合胶、其制备方法、键合及解键合方法 公开/授权日:2015-07-29
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