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发明公开
CN104813456A 接合工具冷却装置及接合工具的冷却方法 有权

  • 专利标题： 接合工具冷却装置及接合工具的冷却方法
  • 专利标题（英）： Bonding tool cooling apparatus and method for cooling bonding tool
  • 申请号： CN201380028377.1
    申请日： 2013-10-11
  • 公开(公告)号： CN104813456A
    公开(公告)日： 2015-07-29
  • 发明人: 瀬山耕平 , 佐藤亮 , 角谷修 , 河村敬人志
  • 申请人： 株式会社新川
  • 申请人地址： 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1
  • 专利权人： 株式会社新川
  • 当前专利权人： 株式会社新川
  • 当前专利权人地址： 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1
  • 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
  • 代理商 马雯雯; 臧建明
  • 优先权： 2012-266179 2012.12.05 JP
  • 国际申请： PCT/JP2013/077759 2013.10.11
  • 国际公布： WO2014/087740 JA 2014.06.12
  • 进入国家日期： 2014-11-28
  • 主分类号： H01L21/60
  • IPC分类号： H01L21/60 ;  H01L21/56
接合工具冷却装置及接合工具的冷却方法
摘要：
一种接合工具冷却装置(10)，其设在接合载台附近，并具备：框架(12)；以及冷却构件(16)，包含具有接合工具(61)的前端面接地的接地面(14a)的接地板(14)、及安装在接地板(14)的与接地面(14a)相反侧的面的散热片(15)；冷却构件(16)是通过支承机构(200)以绕沿着接地面(14a)的X轴、与沿着接地面(14a)的Y轴的二个轴旋转自如的方式支承于框架(12)。由此，可缩短接合工具的冷却时间。
摘要（英）：

A bonding tool cooling apparatus (10) provided in the vicinity of a bonding stage, wherein the apparatus is provided with: a frame (12); and a cooling member (16) including a contact plate (14) having a contact face (14a) that the distal end face of a bonding tool (61) contacts, and a heat-dissipation fin (15) attached to the face on the opposite side from the contact face (14a) of the contact plate (14); the cooling member (16) being supported on the frame (12) by a support mechanism (200) so as to be rotatable about two axes, the x-axis along the contact face (14a) and the y-axis along the contact face (14a). The cooling time of the bonding tool can thereby be shortened.

公开/授权文献
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