- 专利标题: 一种用于透射电镜原位加电场和应力的薄膜样品制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of transmission electron microscopy film sample for in-situ application of electric field and stress
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申请号: CN201510160099.6申请日: 2015-04-07
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公开(公告)号: CN104819876A公开(公告)日: 2015-08-05
- 发明人: 祁亚军 , 章天金 , 梁坤 , 周鹏 , 梅之恒 , 叶昂
- 申请人: 湖北大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
- 专利权人: 湖北大学
- 当前专利权人: 湖北大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
- 代理机构: 武汉河山金堂专利事务所
- 代理商 丁齐旭
- 主分类号: G01N1/28
- IPC分类号: G01N1/28 ; G01N1/32
摘要:
本发明提出了一种用于透射电镜原位加电场和应力的薄膜样品制备方法。步骤为(1)待检测薄膜和单晶Si衬底切割成3mm×1mm×0.5mm的长条形状,再将薄膜条的膜面与Si条抛光面对粘,(2)将薄膜条厚度的两面进行机械研磨与抛光,(3)选用钉薄仪进行钉薄,(4)粘接半铜环,(5)选用离子减薄仪进行离子减薄,离子枪电压设定为4kV,角度设定为6°,减薄20~40min;角度改为4°,减薄15~30min,最后采用电压3kV,角度3°抛光3min即得到对粘缝处出现大面积穿孔,对粘的Si片大面积被离子轰击掉了,露出薄膜,可用探针对其加电场和应力,边缘有适用于电镜观察的大面积薄区。
公开/授权文献
- CN104819876B 一种用于透射电镜原位加电场和应力的薄膜样品制备方法 公开/授权日:2017-11-28