发明授权
- 专利标题: 基于纳米管结构的金属镶嵌过程
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申请号: CN201510050079.3申请日: 2015-01-30
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公开(公告)号: CN104821291B公开(公告)日: 2018-03-13
- 发明人: R·乔施 , J·斯泰恩布伦纳
- 申请人: 英飞凌科技股份有限公司
- 申请人地址: 德国诺伊比贝尔格
- 专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 德国诺伊比贝尔格
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 郑立柱
- 优先权: 14/168,025 2014.01.30 US
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768 ; H01L23/538 ; B82Y40/00
摘要:
在各种实施例中,提供了一种用于在衬底上制造金属化层的方法,其中该方法可包括在衬底之上形成纳米管的多个组,其中该纳米管的组可被布置以使该衬底的部分被暴露,以及在该衬底在纳米管的多个组之间的被暴露部分之上形成金属。
公开/授权文献
- CN104821291A 基于纳米管结构的金属镶嵌过程 公开/授权日:2015-08-05