具有变化栅极结构的集成电路及其制法
摘要:
本发明提供一种具有变化栅极结构的集成电路及其制法。该集成电路包括:设于衬底结构上方的变化栅极结构,该变化栅极结构包括位于该衬底结构的第一区域中的第一栅极堆叠,以及位于该衬底结构的第二区域中的第二栅极堆叠;位于该第一区域中的第一场效应晶体管,该第一场效应晶体管包括该第一栅极堆叠并具有第一阈值电压;以及位于该第二区域中的第二场效应晶体管,该第二场效应晶体管包括该第二栅极堆叠并具有第二阈值电压,其中,该第一阈值电压不同于该第二阈值电压。该方法包括设置该变化栅极结构,该设置包括:设定该变化栅极结构的层的尺寸,使其在不同区域中具有不同厚度。
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