发明授权
- 专利标题: 具有变化栅极结构的集成电路及其制法
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申请号: CN201510086610.2申请日: 2015-02-17
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公开(公告)号: CN104867824B公开(公告)日: 2020-04-17
- 发明人: M·乔希 , M·埃勒 , R·J·卡特 , S·B·萨玛瓦丹姆
- 申请人: 格罗方德半导体公司
- 申请人地址: 英属开曼群岛大开曼岛
- 专利权人: 格罗方德半导体公司
- 当前专利权人: 格罗方德半导体公司
- 当前专利权人地址: 英属开曼群岛大开曼岛
- 代理机构: 北京戈程知识产权代理有限公司
- 代理商 程伟; 王锦阳
- 优先权: 14/188,778 2014.02.25 US
- 主分类号: H01L21/28
- IPC分类号: H01L21/28 ; H01L29/423
摘要:
本发明提供一种具有变化栅极结构的集成电路及其制法。该集成电路包括:设于衬底结构上方的变化栅极结构,该变化栅极结构包括位于该衬底结构的第一区域中的第一栅极堆叠,以及位于该衬底结构的第二区域中的第二栅极堆叠;位于该第一区域中的第一场效应晶体管,该第一场效应晶体管包括该第一栅极堆叠并具有第一阈值电压;以及位于该第二区域中的第二场效应晶体管,该第二场效应晶体管包括该第二栅极堆叠并具有第二阈值电压,其中,该第一阈值电压不同于该第二阈值电压。该方法包括设置该变化栅极结构,该设置包括:设定该变化栅极结构的层的尺寸,使其在不同区域中具有不同厚度。
公开/授权文献
- CN104867824A 具有变化栅极结构的集成电路及其制法 公开/授权日:2015-08-26
IPC分类: