发明公开
- 专利标题: YE在线检测管控方法
- 专利标题(英): Yield enhancement (YE) on-line detection management and control method
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申请号: CN201410057303.7申请日: 2014-02-20
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公开(公告)号: CN104867840A公开(公告)日: 2015-08-26
- 发明人: 方三军 , 杨健 , 陈思安 , 朱瑜杰
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 牛峥; 王丽琴
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66
摘要:
本发明公开了一种YE在线检测管控方法,依据设定的YE抽样率对经过生产设备之后的半导体产品进行抽样,通过设备缺陷风险等级量化评估手段以确定设备缺陷风险等级,再根据该设备缺陷风险等级,决定所抽样的半导体产品的YE在线缺陷检测优先级,以进行随后的设备缺陷检测,然后依据设备缺陷检测结果的优劣,以调整YE抽样率、YE在线缺陷检测优先级、设备缺陷风险等级量化评估参数、生产设备缺陷检测率。本发明实现了在YE在线缺陷检测中依据每一次的检测结果,进行YE抽样率、YE在线缺陷检测优先级、设备缺陷风险等级量化评估参数、以及生产设备缺陷检测率的优化,提高了YE在线检测机台的检测效率,降低生产机台的缺陷风险。
公开/授权文献
- CN104867840B YE在线检测管控方法 公开/授权日:2018-03-23
IPC分类: