YE在线检测管控方法
摘要:
本发明公开了一种YE在线检测管控方法,依据设定的YE抽样率对经过生产设备之后的半导体产品进行抽样,通过设备缺陷风险等级量化评估手段以确定设备缺陷风险等级,再根据该设备缺陷风险等级,决定所抽样的半导体产品的YE在线缺陷检测优先级,以进行随后的设备缺陷检测,然后依据设备缺陷检测结果的优劣,以调整YE抽样率、YE在线缺陷检测优先级、设备缺陷风险等级量化评估参数、生产设备缺陷检测率。本发明实现了在YE在线缺陷检测中依据每一次的检测结果,进行YE抽样率、YE在线缺陷检测优先级、设备缺陷风险等级量化评估参数、以及生产设备缺陷检测率的优化,提高了YE在线检测机台的检测效率,降低生产机台的缺陷风险。
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