- 专利标题: 一种利用椭偏参数测量固体材料表面粗糙度的方法
- 专利标题(英): Method for measuring solid material surface roughness by using elliptical polarization parameter
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申请号: CN201510341853.6申请日: 2015-06-18
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公开(公告)号: CN104880161A公开(公告)日: 2015-09-02
- 发明人: 裘俊 , 冉东方 , 金荣 , 赵军明 , 刘林华
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 杨立超
- 主分类号: G01B11/30
- IPC分类号: G01B11/30
摘要:
一种利用椭偏参数测量固体材料表面粗糙度的方法,本发明涉及测量固体材料表面粗糙度的方法。本发明的目的是为了解决现有技术测量方法原子力显微镜速度慢、扫描电子显微镜需要测量样品能够导电以及光切显微镜精度不高的问题。通过以下技术方案实现的:步骤一、对不同固体材料粗糙表面特征参数进行模拟计算,即通过三维时域有限差分法求得该固体材料粗糙表面近场的空间电磁场分布;步骤二、通过近远场变换求得远场的复电场,计算镜反射方向的辐射偏振特性,并建立数据库;步骤三、当固体材料生产完成后,对该固体材料表面的光学椭偏参数进行测量,并与数据库比对,得到均方根粗糙度和自相关长度。本发明应用于测量表面粗糙度领域。
公开/授权文献
- CN104880161B 一种利用椭偏参数测量固体材料表面粗糙度的方法 公开/授权日:2017-07-28