发明授权
- 专利标题: 激光退火方法以及装置
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申请号: CN201510199238.6申请日: 2008-05-30
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公开(公告)号: CN104882371B公开(公告)日: 2018-01-26
- 发明人: 河口纪仁 , 川上隆介 , 西田健一郎 , M.正木 , 森田胜
- 申请人: 株式会社 , IHI
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社,IHI
- 当前专利权人: 株式会社,IHI
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 闫小龙; 姜甜
- 优先权: 2008-000347 2008.01.07 JP
- 主分类号: H01L21/268
- IPC分类号: H01L21/268 ; B23K26/073 ; B23K26/04
摘要:
本发明涉及激光退火方法以及装置。在透镜阵列方式的均化器光学系统的情况下,一边使长轴用透镜阵列(20a、20b)在与线状光束的长轴方向对应的方向(X方向)往复移动,一边进行激光照射,由此,入射到在后级设置的构成长轴用聚光光学系统的大型透镜(长轴用聚光透镜22)的激光(1)的入射角以及强度按照每次发射而变化,所以,纵向条纹被大幅度降低。另外,一边使短轴用透镜阵列(26a、26b)在与线状光束的长轴方向对应的方向(Y方向)往复移动,一边进行激光照射,由此,入射到在后级设置的构成长轴用聚光光学系统的大型透镜(投影透镜30)的激光(1)的入射角以及强度按照每次发射而变化,所以,横向条纹被大幅度降低。
公开/授权文献
- CN104882371A 激光退火方法以及装置 公开/授权日:2015-09-02