发明授权
- 专利标题: 一种腔室
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申请号: CN201410079630.2申请日: 2014-03-05
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公开(公告)号: CN104889111B公开(公告)日: 2018-05-25
- 发明人: 李伟
- 申请人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 申请人地址: 北京市经济技术开发区文昌大道8号
- 专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 彭瑞欣; 张天舒
- 主分类号: B08B7/00
- IPC分类号: B08B7/00
摘要:
本发明提供一种腔室,所述腔室内部设置有喷淋件,所述喷淋件上设置有贯穿所述喷淋件的喷淋孔,所述喷淋件包括第一喷淋件和第二喷淋件,所述第一喷淋件上设置有多个第一通孔,所述第二喷淋件上设置有多个第二通孔,所述第一喷淋件和所述第二喷淋件上下重叠使所述第一通孔和所述第二通孔连通以形成所述喷淋孔。与现有技术相比,本发明可以较为简便地加工第一喷淋件和第二喷淋件,显著简化了加工复杂度。同时,本发明能够通过调整第一喷淋件和第二喷淋件的相对位置以调节喷淋孔的面积和孔径,能够便捷地实现更多的工艺需求。
公开/授权文献
- CN104889111A 一种腔室 公开/授权日:2015-09-09