发明公开
- 专利标题: 晶片级芯片封装结构及其制作方法
- 专利标题(英): Wafer-level chip encapsulation structure and manufacturing method thereof
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申请号: CN201510282110.6申请日: 2015-05-28
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公开(公告)号: CN104900619A公开(公告)日: 2015-09-09
- 发明人: 黄小花 , 肖智轶 , 戴青 , 钱静娴 , 翟玲玲 , 王苗苗
- 申请人: 华天科技(昆山)电子有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路112号
- 专利权人: 华天科技(昆山)电子有限公司
- 当前专利权人: 华天科技(昆山)电子有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路112号
- 代理机构: 昆山四方专利事务所
- 代理商 盛建德; 段新颖
- 主分类号: H01L23/485
- IPC分类号: H01L23/485 ; H01L21/60
摘要:
本发明公开了一种晶片级芯片封装结构及其制作方法。首先,在与导电焊垫相对应的位置处蚀刻出第一开口,然后,在预定切割道两侧相邻两个第一开口之间形成切除了上部的第二凸部;接着,在第二凸部上正对预定切割道的位置进行机械切割,切割出第二开口,第二开口底部进入支撑层;最后,依次铺设绝缘层、金属布线层及线路保护层。该工艺方法形成的封装结构中,支撑层与线路保护层直接相连,可将导电焊垫及介质层包覆在内,避免了液体沿介质层侧壁进入导电焊垫,进而将导电焊垫腐蚀,减少了可靠性失效的风险;提高了产品的可靠性。同时,在切割过程中,只需切割线路保护层、支撑层及衬底层,减少了切割制程中出现断刀、崩边等问题。
公开/授权文献
- CN104900619B 晶片级芯片封装结构及其制作方法 公开/授权日:2018-01-16
IPC分类: