晶片级芯片封装结构及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种晶片级芯片封装结构及其制作方法。首先,在与导电焊垫相对应的位置处蚀刻出第一开口,然后,在预定切割道两侧相邻两个第一开口之间形成切除了上部的第二凸部;接着,在第二凸部上正对预定切割道的位置进行机械切割,切割出第二开口,第二开口底部进入支撑层;最后,依次铺设绝缘层、金属布线层及线路保护层。该工艺方法形成的封装结构中,支撑层与线路保护层直接相连,可将导电焊垫及介质层包覆在内,避免了液体沿介质层侧壁进入导电焊垫,进而将导电焊垫腐蚀,减少了可靠性失效的风险;提高了产品的可靠性。同时,在切割过程中,只需切割线路保护层、支撑层及衬底层,减少了切割制程中出现断刀、崩边等问题。
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