真空样品转移装置
摘要:
一种真空样品转移装置,包括:真空腔;真空管路,用于连接真空腔与取样或受样设备,设有真空阀门;磁力杆,具有位于真空腔外的真空外磁力环和位于真空腔内的真空内磁力环;传样杆,设置在真空腔内,与真空内磁力环连接,前端设有具有两个叉的叉形样品杯卡;样品杯,用于承载真空样品,具有内凹型台阶结构,通过内凹型台阶结构与所述两个叉卡接配合而装配在传样杆上;通过传样杆前端的叉形样品杯卡和样品杯的内凹型台阶结构的设计,使得真空样品在转移过程中稳定可靠,不会出现样品掉落的问题;而且,本发明真空转移装置结构简单、成本低、通用性强,可适用不同真空系统的样品室和样品台。
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