-
公开(公告)号：CN103426709B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310395592.7
申请日：2013-09-03
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/244
摘要： 一种角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法，包括光束扫描系统、电子显微系统和控制系统；所述光束扫描系统包括激发光源、整形镜、聚焦镜、振镜和成像镜；所述整形镜位于所述第一真空腔体内部，用于对所述激发光源发射的激发光进行整形，激发光经过整形汇聚后在所述整形镜的焦点a处形成聚焦光斑；所述聚焦镜、所述振镜位于所述第一真空腔体内部，用于将聚焦光斑成像并投射至所述振镜的反射镜旋转中心处；所述成像镜位于所述第一真空腔体内部，用于将经过所述振镜的反射光成像到被测样品的表面。本发明提供的角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法能实现快速、精确的角度扫描，重复定位精度高，观测效果好。
-
公开(公告)号：CN104914264B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510372372.1
申请日：2015-06-30
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
IPC分类号： G01N35/00
摘要： 一种真空样品转移装置，包括：真空腔；真空管路，用于连接真空腔与取样或受样设备，设有真空阀门；磁力杆，具有位于真空腔外的真空外磁力环和位于真空腔内的真空内磁力环；传样杆，设置在真空腔内，与真空内磁力环连接，前端设有具有两个叉的叉形样品杯卡；样品杯，用于承载真空样品，具有内凹型台阶结构，通过内凹型台阶结构与所述两个叉卡接配合而装配在传样杆上；通过传样杆前端的叉形样品杯卡和样品杯的内凹型台阶结构的设计，使得真空样品在转移过程中稳定可靠，不会出现样品掉落的问题；而且，本发明真空转移装置结构简单、成本低、通用性强，可适用不同真空系统的样品室和样品台。
-
公开(公告)号：CN104914264A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510372372.1
申请日：2015-06-30
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
IPC分类号： G01N35/00
摘要： 一种真空样品转移装置，包括：真空腔；真空管路，用于连接真空腔与取样或受样设备，设有真空阀门；磁力杆，具有位于真空腔外的真空外磁力环和位于真空腔内的真空内磁力环；传样杆，设置在真空腔内，与真空内磁力环连接，前端设有具有两个叉的叉形样品杯卡；样品杯，用于承载真空样品，具有内凹型台阶结构，通过内凹型台阶结构与所述两个叉卡接配合而装配在传样杆上；通过传样杆前端的叉形样品杯卡和样品杯的内凹型台阶结构的设计，使得真空样品在转移过程中稳定可靠，不会出现样品掉落的问题；而且，本发明真空转移装置结构简单、成本低、通用性强，可适用不同真空系统的样品室和样品台。
-
公开(公告)号：CN105047510A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510372256.X
申请日：2015-06-30
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明提供一种深紫外激光器与光发射电子显微镜的对接系统，包括依次连接的真空密封管路、第二柔性密封管路、入射透镜和第一柔性密封管路，真空密封管路用于连接深紫外激光器，第一柔性密封管路用于连接光发射电子显微镜，本发明通过在第一柔性密封管路和/或第二柔性密封管路的旁侧附设调节机构，从而使得通过调节机构与第一柔性密封管路的配合和/或调节机构与第二柔性密封管路的配合实现对入射窗口沿轴向的一维调节以及沿倾斜角度方向的二维调节，解决了现有技术中因装配误差存在的倾斜角度偏差无法调节的问题，方便了激光对准样品。
-
公开(公告)号：CN103426709A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310395592.7
申请日：2013-09-03
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/244
摘要： 一种角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法，包括光束扫描系统、电子显微系统和控制系统；所述光束扫描系统包括激发光源、整形镜、聚焦镜、振镜和成像镜；所述整形镜位于所述第一真空腔体内部，用于对所述激发光源发射的激发光进行整形，激发光经过整形汇聚后在所述整形镜的焦点a处形成聚焦光斑；所述聚焦镜、所述振镜位于所述第一真空腔体内部，用于将聚焦光斑成像并投射至所述振镜反射镜旋转中心处；所述成像镜位于所述第一真空腔体内部，用于将经过所述振镜的反射光成像到被测样品的表面。本发明提供的角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法能实现快速、精确的角度扫描，重复定位精度高，观测效果好。
-
公开(公告)号：CN105047510B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201510372256.X
申请日：2015-06-30
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明提供一种深紫外激光器与光发射电子显微镜的对接系统，包括依次连接的真空密封管路、第二柔性密封管路、入射透镜和第一柔性密封管路，真空密封管路用于连接深紫外激光器，第一柔性密封管路用于连接光发射电子显微镜，本发明通过在第一柔性密封管路和/或第二柔性密封管路的旁侧附设调节机构，从而使得通过调节机构与第一柔性密封管路的配合和/或调节机构与第二柔性密封管路的配合实现对入射窗口沿轴向的一维调节以及沿倾斜角度方向的二维调节，解决了现有技术中因装配误差存在的倾斜角度偏差无法调节的问题，方便了激光对准样品。
-
公开(公告)号：CN203103260U
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201320093101.9
申请日：2013-02-28
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
IPC分类号： H01J37/02
摘要： 本实用新型是一种用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，包括第一连接座，与电子显微镜的待抽真空口固定连接；第二连接座，与所述第一连接座相对设置，且与真空泵的抽气口连接；弹性隔离管，安装于所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述待抽真空口和所述抽气口连通；支撑隔振柱（4），用于承重和吸振，设置在所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述第一连接座和所述第二连接座的端面固定连接。本实用新型通过采用吸收真空泵振动的方式有效降低了真空泵振动对电子显微镜成像分辨率的影响。
-
-
-
-
-
-
搜索结果
7 条记录 (耗时 0.03 秒)
