一种快速生长大尺寸高纯半绝缘碳化硅单晶的方法
摘要:
本发明涉及一种快速生长大尺寸高纯半绝缘碳化硅单晶的方法,该方法一方面通过对生长室内的进行多次气体置换,实现生长室与空气的隔离,降低单晶中的氮含量,另一方面,该方法通过提高PVT法碳化硅单晶生长系统中的源粉和籽晶之间的温度梯度和/或降低生长室压力来实现碳化硅单晶的快速生长,高纯半绝缘碳化硅单晶晶型包括4H、6H、3C和15R或这四种晶型的任意组合晶型,有益效果是,提高了碳化硅单晶的电阻率,碳化硅单晶生长速度可达到0.5mm/h~2mm/h,超出常规速度数倍,进一步提高了碳化硅单晶片的产率。
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