发明公开
- 专利标题: 一种快速生长大尺寸高纯半绝缘碳化硅单晶的方法
- 专利标题(英): Method for rapidly growing large-size high-purity semi-insulating silicon carbide single crystal
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申请号: CN201510417397.9申请日: 2015-07-16
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公开(公告)号: CN104947182A公开(公告)日: 2015-09-30
- 发明人: 窦瑛 , 徐永宽 , 孟大磊 , 张皓 , 张政 , 徐所成
- 申请人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 申请人地址: 天津市河西区洞庭路26号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 当前专利权人地址: 天津市河西区洞庭路26号
- 代理机构: 天津中环专利商标代理有限公司
- 代理商 胡京生
- 主分类号: C30B23/00
- IPC分类号: C30B23/00 ; C30B29/36
摘要:
本发明涉及一种快速生长大尺寸高纯半绝缘碳化硅单晶的方法,该方法一方面通过对生长室内的进行多次气体置换,实现生长室与空气的隔离,降低单晶中的氮含量,另一方面,该方法通过提高PVT法碳化硅单晶生长系统中的源粉和籽晶之间的温度梯度和/或降低生长室压力来实现碳化硅单晶的快速生长,高纯半绝缘碳化硅单晶晶型包括4H、6H、3C和15R或这四种晶型的任意组合晶型,有益效果是,提高了碳化硅单晶的电阻率,碳化硅单晶生长速度可达到0.5mm/h~2mm/h,超出常规速度数倍,进一步提高了碳化硅单晶片的产率。